| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 黑磷薄膜的结构和制备 | 第12-16页 |
| 1.2.1 黑磷的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 黑磷薄膜的制备 | 第13-16页 |
| 1.3 黑磷的机械性能和物理性能 | 第16-21页 |
| 1.3.1 机械性能 | 第16-18页 |
| 1.3.2 物理性能 | 第18-21页 |
| 1.4 黑磷的应用 | 第21-23页 |
| 1.4.1 黑磷异质结 | 第21-22页 |
| 1.4.2 黑磷基电池 | 第22-23页 |
| 1.5 国内外相关课题研究现状 | 第23-25页 |
| 1.5.1 黑磷场效应晶体管的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.5.2 应力对黑磷场效应晶体管的影响研究现状 | 第24-25页 |
| 1.6 本论文的研究目的及主要内容 | 第25-27页 |
| 1.6.1 本论文的研究目的 | 第25-26页 |
| 1.6.2 本论文的主要内容 | 第26-27页 |
| 第二章 黑磷场效应晶体管的制备 | 第27-37页 |
| 2.1 图形化衬底的制备 | 第27-32页 |
| 2.2 黑磷薄膜的制备及转移 | 第32-36页 |
| 2.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 黑磷场效应晶体管声子散射和电学特性 | 第37-48页 |
| 3.1 黑磷的声子散射 | 第37-41页 |
| 3.1.1 拉曼表征原理 | 第37-38页 |
| 3.1.2 黑磷的拉曼光谱 | 第38-41页 |
| 3.2 黑磷场效应晶体管的电学原理及特性 | 第41-47页 |
| 3.2.1 黑磷场效应晶体管的电学原理及结构 | 第41-43页 |
| 3.2.2 实验仪器及测试原理 | 第43-44页 |
| 3.2.3 黑磷场效应晶体管的电学特性 | 第44-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 应力对黑磷场效应晶体管声子散射和电学特性的影响研究 | 第48-61页 |
| 4.1 引言 | 第48-49页 |
| 4.2 实验方法 | 第49-50页 |
| 4.3 黑磷场效应晶体管的表征 | 第50-54页 |
| 4.3.1 黑磷场效应晶体管的光镜图 | 第50页 |
| 4.3.2 黑磷场效应晶体管的AFM表征 | 第50-54页 |
| 4.4 应力对黑磷场效应晶体管声子散射的影响 | 第54-57页 |
| 4.5 应力对黑磷场效应晶体管电学性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 黑磷场效应晶体管的稳定性研究 | 第61-77页 |
| 5.1 引言 | 第61-62页 |
| 5.2 黑磷场效应晶体管的击穿行为 | 第62-67页 |
| 5.2.1 黑磷场效应晶体管被击穿后电学特性 | 第62-64页 |
| 5.2.2 晶体管的击穿机理 | 第64-67页 |
| 5.3 黑磷场效应晶体管在大气环境下的稳定性研究 | 第67-75页 |
| 5.3.1 黑磷薄膜在大气环境下表面形貌的变化 | 第67-70页 |
| 5.3.2 黑磷薄膜在大气环境下拉曼光谱的偏移 | 第70-71页 |
| 5.3.3 黑磷场效应晶体管在大气环境下电学特性的变化 | 第71-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 总结与创新点 | 第77-79页 |
| 6.1 总结 | 第77-78页 |
| 6.2 本论文的创新之处 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术成果目录 | 第88页 |