| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 半导体制造流程的特点 | 第12页 |
| 1.2 半导体制造业生产指标介绍 | 第12-16页 |
| 1.2.1 与产品相关的性能指标 | 第12-15页 |
| 1.2.2 与设备相关的性能指标 | 第15-16页 |
| 1.3 半导体制造中软件的应用 | 第16-18页 |
| 1.4 SES 3000-X 型湿法清洗机介绍 | 第18-21页 |
| 第二章 派货问题国内外现状研究综述 | 第21-24页 |
| 2.1 派工方法介绍 | 第21-22页 |
| 2.2 国际派工软件 | 第22-23页 |
| 2.3 本文研究目的与主要内容 | 第23-24页 |
| 第三章 派货问题的算法研究 | 第24-37页 |
| 3.1 现有派工系统的介绍 | 第24-32页 |
| 3.1.1 查询界面 | 第24-26页 |
| 3.1.2 派工监控模块 | 第26-29页 |
| 3.1.3 现有派工规则 | 第29-32页 |
| 3.2 算法的探讨 | 第32-34页 |
| 3.2.1 启发式算法（即基于法则的派工） | 第32-33页 |
| 3.2.2 遗传算法 | 第33-34页 |
| 3.3 遗传算法 | 第34-37页 |
| 3.3.1 遗传算法简介 | 第34-35页 |
| 3.3.2 遗传算法术语说明 | 第35页 |
| 3.3.3 遗传算法特点 | 第35-37页 |
| 第四章 遗传算法在酸槽派工中的应用以及结果 | 第37-45页 |
| 4.1 算法模型的实施 | 第37-41页 |
| 4.1.1 启发式算法模型的实施 | 第37页 |
| 4.1.2 遗传算法模型的实施 | 第37-41页 |
| 4.2 算法模型的实施执行率 | 第41-42页 |
| 4.3 算法的实际结果 | 第42-45页 |
| 4.3.1 使用遗传算法前酸槽机台的 Movement | 第42-43页 |
| 4.3.2 使用遗传算法后酸槽机台的 Movement | 第43-45页 |
| 总结 | 第45-46页 |
| 附录 | 第46-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第53页 |