| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 铁电材料及其基本性质 | 第11-12页 |
| 1.2 多铁材料 | 第12-14页 |
| 1.3 铁电薄膜的导电机理 | 第14-16页 |
| 1.3.1 欧姆传导机制 | 第14页 |
| 1.3.2 空间电荷限制传导机制 | 第14-15页 |
| 1.3.3 PF发射机制 | 第15页 |
| 1.3.4 Schottky发射机制 | 第15页 |
| 1.3.5 FN隧道效应 | 第15-16页 |
| 1.4 BiFeO_3的结构与性能 | 第16页 |
| 1.5 BiFeO_3薄膜的研究进展 | 第16-24页 |
| 1.5.1 制备方法的研究 | 第18-20页 |
| 1.5.2 掺杂改性 | 第20-24页 |
| 1.6 本课题的研究对象及主要内容 | 第24-26页 |
| 1.6.1 研究对象的选择 | 第24-25页 |
| 1.6.2 本文的研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 实验方案设计与研究方法 | 第26-32页 |
| 2.1 实验所需原料及仪器设备 | 第26-27页 |
| 2.2 溶胶-凝胶法制备BiFeO_3薄膜 | 第27-28页 |
| 2.2.1 前驱体溶液的配制 | 第27-28页 |
| 2.2.2 衬底的清洗与预处理 | 第28页 |
| 2.2.3 湿膜制备及热处理 | 第28页 |
| 2.3 薄膜表征技术 | 第28-32页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第28-30页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第30页 |
| 2.3.3 铁电测试仪 | 第30-32页 |
| 第3章 退火温度对BiFeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第32-38页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 退火温度对BiFeO_3薄膜晶体结构的影响 | 第33-34页 |
| 3.3 退火温度对BiFeO_3薄膜微观形貌的影响 | 第34-36页 |
| 3.4 退火温度对BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 Mn掺杂对BiFeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第38-46页 |
| 4.1 引言 | 第38-39页 |
| 4.2 Mn掺杂对BiFeO_3薄膜晶体结构的影响 | 第39-41页 |
| 4.3 Mn掺杂对BiFeO_3薄膜微观形貌的影响 | 第41-42页 |
| 4.4 Mn掺杂对BiFeO_3薄膜漏电特性的影响 | 第42-43页 |
| 4.5 Mn掺杂对BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第43-45页 |
| 4.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 Zn掺杂对BiFeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第46-52页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 Zn掺杂对BiFeO_3薄膜晶体结构的影响 | 第46-47页 |
| 5.3 Zn掺杂对BiFeO_3薄膜微观形貌的影响 | 第47-48页 |
| 5.4 Zn掺杂对BiFeO_3薄膜漏电特性的影响 | 第48-49页 |
| 5.5 Zn掺杂对BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第49-50页 |
| 5.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第6章 Mn、Ti共掺杂对BiFeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第52-60页 |
| 6.1 引言 | 第52页 |
| 6.2 Mn、Ti共掺对BiFeO_3薄膜晶体结构的影响 | 第52-53页 |
| 6.3 Mn、Ti共掺对BiFeO_3薄膜微观形貌的影响 | 第53-54页 |
| 6.4 Mn、Ti共掺对BiFeO_3薄膜漏电特性的影响 | 第54-56页 |
| 6.5 Mn、Ti共掺对BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第56-59页 |
| 6.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第7章 结论 | 第60-62页 |
| 7.1 主要结论 | 第60页 |
| 7.2 工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第67页 |
