新型微米级压电振动能量采集器的制备及测试
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究的背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 机-电转换方式的选择 | 第9-19页 |
| 1.2.4 压电式振动能量采集器的研究现状 | 第12-19页 |
| 1.3 本论文的研究意义及主要内容 | 第19-20页 |
| 2 压电式振动能量收集技术基础 | 第20-31页 |
| 2.1 压电振动能量收集的振源及结构设计 | 第20-24页 |
| 2.1.1 压电振动能量收集的振源 | 第20-21页 |
| 2.1.2 压电振动能量收集器的结构设计 | 第21-24页 |
| 2.2 压电振动能量采集器的测试及性能表征 | 第24-25页 |
| 2.3 压电振动能量采集的压电材料 | 第25-31页 |
| 2.3.1 压电材料 | 第25-27页 |
| 2.3.2 压电材料的性能研究 | 第27-31页 |
| 3 复合梁压电式振动能量采集器的设计及制备 | 第31-36页 |
| 3.1 结构设计 | 第31-32页 |
| 3.2 能量采集器的制作工艺 | 第32-36页 |
| 3.2.1 工艺及掩膜板设计 | 第32-34页 |
| 3.2.2 绝缘层的选择 | 第34-35页 |
| 3.2.3 在柔性衬底上制备PZT薄膜 | 第35-36页 |
| 4 单斜相PZT薄膜的性能检测分析 | 第36-48页 |
| 4.1 单斜相PZT薄膜晶相验证分析及表面形貌 | 第36-40页 |
| 4.2 单斜相PZT薄膜介电性能分析 | 第40-43页 |
| 4.3 单斜相PZT薄膜铁电性分析 | 第43-47页 |
| 4.3.1 单斜相PZT薄膜漏电流分析 | 第43-44页 |
| 4.3.2 单斜相PZT薄膜电滞回线 | 第44-47页 |
| 4.5 单斜相PZT薄膜压电性分析 | 第47-48页 |
| 5 微米级压电振动能量采集器的性能测试 | 第48-52页 |
| 5.1 测量系统 | 第48-49页 |
| 5.2 开路电压和谐振频率 | 第49-50页 |
| 5.3 闭环输出电压和功率 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
