| 主要符号缩写 | 第11-12页 |
| 摘要 | 第12-14页 |
| ABSTRACT | 第14-16页 |
| 第1章 绪论 | 第18-44页 |
| 1.1 引言 | 第18-19页 |
| 1.2 多铁性材料概述 | 第19-25页 |
| 1.2.1 多铁材料的基本性质 | 第19-22页 |
| 1.2.2 多铁材料的分类 | 第22-23页 |
| 1.2.3 多铁材料的应用前景 | 第23-25页 |
| 1.3 单相多铁材料BFO | 第25-29页 |
| 1.3.1 晶体结构 | 第25-26页 |
| 1.3.2 基本特性 | 第26-28页 |
| 1.3.3 BFO薄膜材料的潜在应用 | 第28-29页 |
| 1.4 BFO薄膜材料制备技术 | 第29-32页 |
| 1.4.1 磁控溅射沉积技术 | 第30-31页 |
| 1.4.2 其它制备技术 | 第31-32页 |
| 1.5 BFO薄膜材料的研究进展 | 第32-42页 |
| 1.5.1 国内外研究现状 | 第32-40页 |
| 1.5.2 当前存在的主要问题 | 第40-42页 |
| 1.6 本文研究背景及主要内容 | 第42-44页 |
| 1.6.1 课题研究背景 | 第42页 |
| 1.6.2 主要研究内容 | 第42-44页 |
| 第2章 样品的制备与表征 | 第44-48页 |
| 2.1 BFO样品的制备 | 第44-45页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第44页 |
| 2.1.2 制备流程 | 第44-45页 |
| 2.2 BFO样品的表征 | 第45-48页 |
| 2.2.1 微观结构表征 | 第45-47页 |
| 2.2.2 电学性能测试 | 第47-48页 |
| 第3章 BFO异质外延薄膜的微结构与电性能 | 第48-82页 |
| 3.1 溅射气氛对BFO薄膜微结构与电性能的影响 | 第49-57页 |
| 3.1.1 不同Ar/O_2比率下薄膜的晶体结构 | 第49-50页 |
| 3.1.2 不同Ar/O_2比率下薄膜的微结构 | 第50-53页 |
| 3.1.3 不同Ar/O_2比率下薄膜的介电性能 | 第53-54页 |
| 3.1.4 不同Ar/O_2比率下薄膜的铁电性能 | 第54-55页 |
| 3.1.5 不同Ar/O_2比率下薄膜的漏电流特性 | 第55-57页 |
| 3.2 溅射气氛对BFO薄膜漏电机制的影响 | 第57-64页 |
| 3.2.1 薄膜漏电流曲线拟合 | 第57-60页 |
| 3.2.2 压电响应形貌 | 第60-61页 |
| 3.2.3 俄歇深度剖面分析 | 第61-63页 |
| 3.2.4 薄膜漏电机制理论分析 | 第63-64页 |
| 3.3 单晶基底对BFO薄膜性能的影响 | 第64-69页 |
| 3.3.1 BFO/SRO/Sub异质结构的晶体结构 | 第64-65页 |
| 3.3.2 BFO/SRO/Sub异质结构的介电性能 | 第65-66页 |
| 3.3.3 BFO/SRO/Sub异质结构的漏电流特性 | 第66-67页 |
| 3.3.4 BFO/SRO/Sub异质结构的压电形貌 | 第67-68页 |
| 3.3.5 BFO/SRO/Sub异质结构的铁电性能 | 第68-69页 |
| 3.4 氧化物底电极对BFO薄膜性能的影响 | 第69-79页 |
| 3.4.1 BFO/OBE/LAO异质结构的晶体结构 | 第70-71页 |
| 3.4.2 BFO/OBE/LAO异质结构的介电性能 | 第71-72页 |
| 3.4.3 BFO/OBE/LAO异质结构的铁电性能 | 第72-74页 |
| 3.4.4 BFO/OBE/LAO异质结构的压电形貌 | 第74-75页 |
| 3.4.5 BFO/OBE/LAO异质结构的漏电流特性 | 第75-79页 |
| 3.5 本章小结 | 第79-82页 |
| 第4章 BiFeO_3/BaTiO_3双层膜微结构与电性能 | 第82-94页 |
| 4.1 BFO/BTO双层膜的晶体结构 | 第83页 |
| 4.2 BFO/BTO双层膜的微观结构 | 第83-85页 |
| 4.3 BFO/BTO双层膜的漏电、铁电及储能特性 | 第85-88页 |
| 4.4 空间电荷效应与静电耦合效应 | 第88-91页 |
| 4.5 BFO/BTO双层膜的介电性能 | 第91-93页 |
| 4.6 本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 中低温BiFeO_3多晶膜微结构与电性能 | 第94-122页 |
| 5.1 BFO多晶薄膜的微结构与电性能 | 第94-105页 |
| 5.1.1 晶体结构与极图分析 | 第94-96页 |
| 5.1.2 微结构与表面形貌 | 第96-99页 |
| 5.1.3 电学性能 | 第99-103页 |
| 5.1.4 压电形貌 | 第103-105页 |
| 5.2 BFO多晶厚膜的微结构与电性能 | 第105-121页 |
| 5.2.1 相组分与晶体取向 | 第105-106页 |
| 5.2.2 微观形貌 | 第106-107页 |
| 5.2.3 介电性能 | 第107-109页 |
| 5.2.4 漏电流特性 | 第109-112页 |
| 5.2.5 铁电性能 | 第112-115页 |
| 5.2.6 压电性能 | 第115-121页 |
| 5.3 本章小结 | 第121-122页 |
| 第6章 结论与展望 | 第122-126页 |
| 6.1 结论 | 第122-123页 |
| 6.2 主要创新点 | 第123-124页 |
| 6.3 展望 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-148页 |
| 致谢 | 第148-150页 |
| 攻读学位期间发表的论文及取得的成果 | 第150-152页 |
| 附录Ⅰ | 第152-156页 |
| 附录Ⅱ | 第156-160页 |
| 附件 | 第160-176页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第176页 |
