| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 硅微陀螺仪及其测控电路研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.3 研究现状总结 | 第15-16页 |
| 1.3 论文的选题与结构安排 | 第16-18页 |
| 1.3.1 论文的研究对象 | 第16页 |
| 1.3.2 论文的结构安排 | 第16-18页 |
| 2 硅微机械陀螺工作原理及参数推导 | 第18-27页 |
| 2.1 硅微机械陀螺机械结构及测控电路概述 | 第18-19页 |
| 2.2 驱动闭环工作机理推导 | 第19-22页 |
| 2.2.1 陀螺驱动部分 | 第20-22页 |
| 2.2.2 AGC控制 | 第22页 |
| 2.3 检测开环工作机理推导 | 第22-24页 |
| 2.4 误差分析 | 第24-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 寄生电容测试及问题分析 | 第27-40页 |
| 3.1 硅微机械陀螺寄生电容拓扑 | 第27-28页 |
| 3.2 寄生电容测试系统 | 第28-30页 |
| 3.2.1 测试系统原理 | 第28-29页 |
| 3.2.2 测试系统准确度及分辨率 | 第29-30页 |
| 3.3 寄生电容测试结果 | 第30-32页 |
| 3.4 寄生电容影响机理分析与仿真 | 第32-39页 |
| 3.4.1 机电接口对地寄生电容对跨阻式放大器频率响应的影响 | 第32-34页 |
| 3.4.2 驱动电极与驱动检测电极之间寄生电容引起的稳定性问题 | 第34-36页 |
| 3.4.3 驱动电压到检测电流的馈通问题及解决方案 | 第36-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 低噪声抗干扰接口电路 | 第40-53页 |
| 4.1 硅微机械陀螺接口电路设计目标 | 第40-41页 |
| 4.2 接口电路改进方案 | 第41-45页 |
| 4.2.1 T型网络接口 | 第41-43页 |
| 4.2.2 积分-微分式接口 | 第43-44页 |
| 4.2.3 两级积分式接口 | 第44-45页 |
| 4.3 噪声分析及抗干扰性能分析 | 第45-50页 |
| 4.3.1 噪声分析 | 第45-47页 |
| 4.3.2 抗干扰性能分析 | 第47-50页 |
| 4.4 方案确定与测试 | 第50-52页 |
| 4.4.1 噪声测试 | 第50-51页 |
| 4.4.2 解调相位差测试 | 第51页 |
| 4.4.3 电路稳定性测试 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 数字化测控电路设计 | 第53-65页 |
| 5.1 系统总体方案 | 第53-54页 |
| 5.2 电路原理设计 | 第54-59页 |
| 5.2.1 模拟电路 | 第54-55页 |
| 5.2.2 ADC与DAC选择 | 第55-57页 |
| 5.2.3 电源模块 | 第57-58页 |
| 5.2.4 FPGA及其配套芯片 | 第58-59页 |
| 5.3 信号完整性与PCB设计 | 第59-62页 |
| 5.3.1 信号完整性问题分析 | 第59-60页 |
| 5.3.2 PCB设计 | 第60-61页 |
| 5.3.3 去耦电容的选取 | 第61-62页 |
| 5.4 硬件测试 | 第62-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 6 系统测试与数据分析 | 第65-68页 |
| 6.1 标度因数及其非线性 | 第66页 |
| 6.2 零偏测试 | 第66-67页 |
| 6.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 7 总结与展望 | 第68-70页 |
| 7.1 研究内容总结 | 第68页 |
| 7.2 展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 附录 | 第75页 |
