| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·MEMS建模与仿真 | 第11-14页 |
| ·多物理场建模与仿真 | 第11-13页 |
| ·宏建模与系统级仿真 | 第13-14页 |
| ·模型降阶方法 | 第14-18页 |
| ·线性模型降阶方法 | 第15-17页 |
| ·非线性模型降阶方法 | 第17-18页 |
| ·TPWL方法研究现状 | 第18-20页 |
| ·降阶方法在MEMS中的应用 | 第20-22页 |
| ·论文的研究目的与主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 TPWL方法的基本原理及关键技术 | 第24-56页 |
| ·TPWL方法的基本思想 | 第24-26页 |
| ·TPWL方法的基本原理 | 第26-27页 |
| ·TPWL方法的实施流程 | 第27-28页 |
| ·TPWL宏建模的关键技术环节 | 第28-55页 |
| ·求解区域离散 | 第28-30页 |
| ·方程空间离散 | 第30-32页 |
| ·线性化点选择 | 第32-33页 |
| ·非线性函数近似 | 第33-36页 |
| ·线性近似 | 第33-34页 |
| ·多项式近似 | 第34-35页 |
| ·正交多项式近似 | 第35-36页 |
| ·投影矩阵生成 | 第36-50页 |
| ·两种常用的正交化方法 | 第36-39页 |
| ·线性模型降阶方法 | 第39-44页 |
| ·Krylov投影矩阵 | 第44-46页 |
| ·TBR投影矩阵 | 第46-47页 |
| ·POD投影矩阵 | 第47-50页 |
| ·投影降阶 | 第50-51页 |
| ·权函数构造 | 第51-53页 |
| ·加权求和 | 第53-54页 |
| ·多轨迹融合 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第三章 基于TPWL方法的热电耦合问题宏建模 | 第56-70页 |
| ·热电耦合控制方程 | 第56-58页 |
| ·有限元离散 | 第58-60页 |
| ·宏模型提取 | 第60-62页 |
| ·线性化点选择 | 第60-61页 |
| ·局部线性化模型生成 | 第61页 |
| ·全局投影矩阵构造 | 第61-62页 |
| ·TPWL宏模型建立 | 第62页 |
| ·数值算例 | 第62-69页 |
| ·几何模型及物理参数 | 第62-63页 |
| ·宏模型提取 | 第63-65页 |
| ·TPWL方法与快速TPWL方法的比较 | 第65-67页 |
| ·局部降阶阶数和线性化点个数的影响 | 第67-68页 |
| ·宏模型的可扩展性 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第四章 基于全局最大误差控制的改进TPWL方法 | 第70-94页 |
| ·线性化点选择算法回顾 | 第70-77页 |
| ·基于状态间距的选择算法 | 第70-73页 |
| ·基于估计误差的选择算法 | 第73-75页 |
| ·基于真实误差的选择算法 | 第75-77页 |
| ·新的线性化点选择算法 | 第77-80页 |
| ·单轨迹情形 | 第77-79页 |
| ·多轨迹情形 | 第79-80页 |
| ·有效性检验 | 第80-93页 |
| ·单轨迹情形 | 第80-88页 |
| ·非线性传输线RC电路 | 第81-83页 |
| ·非线性传输线RLC电路 | 第83-86页 |
| ·微机械开关 | 第86-88页 |
| ·多轨迹情形 | 第88-90页 |
| ·性能比较 | 第90-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第五章 改进的TPWL方法在MEMS热电器件中的应用 | 第94-110页 |
| ·控制方程 | 第94-96页 |
| ·宏模型提取 | 第96-97页 |
| ·平板式热微执行器 | 第97-103页 |
| ·器件结构 | 第97-98页 |
| ·仿真结果及分析 | 第98-103页 |
| ·柔性热微执行器 | 第103-109页 |
| ·器件结构 | 第103-104页 |
| ·仿真结果及分析 | 第104-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 第六章 结合POD的二次选点TPWL-GMEC方法及其应用 | 第110-130页 |
| ·二次选点算法 | 第110-111页 |
| ·基于POD的投影矩阵构造 | 第111-113页 |
| ·结合POD的二次选点TPWL-GMEC方法 | 第113-115页 |
| ·有效性检验 | 第115-119页 |
| ·方法在MEMS中的应用 | 第119-129页 |
| ·平板式热微执行器 | 第119-121页 |
| ·微机械开关 | 第121-124页 |
| ·静电微泵隔膜 | 第124-129页 |
| ·本章小结 | 第129-130页 |
| 第七章 总结与展望 | 第130-132页 |
| ·工作总结 | 第130-131页 |
| ·论文的主要创新点 | 第131页 |
| ·工作展望 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-142页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及参加科研情况 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |