| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·压电陶瓷的驱动控制方法分类 | 第12-14页 |
| ·电压控制型压电陶瓷驱动电源 | 第12-14页 |
| ·电流/电荷控制型压电陶瓷驱动电源 | 第14页 |
| ·课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 压电陶瓷位移台系统驱动控制方法 | 第16-25页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·超精密微定位校准实验平台系统构成 | 第16-18页 |
| ·驱动电源控制模块原理设计 | 第18-19页 |
| ·压电陶瓷驱动电源原理 | 第19-22页 |
| ·线性直流稳压电源的改进 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动电源电路设计 | 第25-36页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·压电陶瓷驱动电源主体电路 | 第25-34页 |
| ·误差放大级电路 | 第25-26页 |
| ·电压跟随及隔离反相电路 | 第26-29页 |
| ·功率放大级电路 | 第29-30页 |
| ·反馈补偿环节电路 | 第30-34页 |
| ·压电陶瓷驱动电源保护电路 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 微定位校准实验平台软件设计 | 第36-45页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·FPGA电路信号发生程序实现 | 第36-40页 |
| ·DDS模块介绍 | 第36-37页 |
| ·波形数据产生及累加器模块设计 | 第37-39页 |
| ·控制模块设计 | 第39-40页 |
| ·校准实验平台数据采集软件 | 第40-44页 |
| ·PCI-1716 卡功能简介及其与Labwindows的通信 | 第41页 |
| ·数据采集程序设计 | 第41-43页 |
| ·程序的附加功能 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 实验及分析 | 第45-58页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·纹波实验 | 第45-48页 |
| ·纹波定义与指标形式及其测试方法 | 第45-46页 |
| ·误差放大式压电陶瓷驱动电源纹波实验 | 第46-47页 |
| ·PD-II型压电陶瓷驱动电源纹波实验 | 第47-48页 |
| ·分辨力实验 | 第48-49页 |
| ·稳定性实验 | 第49-50页 |
| ·频率响应及阶跃响应实验 | 第50-53页 |
| ·响应时间的定义及其测试方法 | 第50页 |
| ·误差放大式压电陶瓷驱动电源动态特性实验 | 第50-52页 |
| ·PI公司E-753.1CD型PZT驱动电源动态特性实验 | 第52-53页 |
| ·微定位平台动态特性实验 | 第53-57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63页 |