| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·氧锌铝薄膜的概述 | 第6-7页 |
| ·薄膜的晶体结构 | 第7-8页 |
| ·AZO薄膜的光电特性 | 第8页 |
| ·薄膜制备方法 | 第8-13页 |
| ·原子层沉积法制备AZO薄膜的过程与优点 | 第13-14页 |
| ·AZO薄膜的应用前景 | 第14页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 ALD法制备AZO薄膜的前期准备和测试表征方法 | 第15-20页 |
| ·衬底的清洗 | 第15页 |
| ·实验仪器 | 第15-16页 |
| ·测试表征方法 | 第16-19页 |
| ·X射线衍射(xrd)测试 | 第16-17页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第17-18页 |
| ·光致发光谱(PL) | 第18页 |
| ·霍尔效应 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 AZO样品的实验制备过程、原理与表征分析 | 第20-29页 |
| ·AZO样品的制备过程 | 第20-22页 |
| ·样品的表征 | 第22-28页 |
| ·不同温度对样品的影响 | 第22-23页 |
| ·不同铝含量的AZO薄膜的表征 | 第23-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 基于AZO薄膜的有机近红外光电探测器的研究 | 第29-37页 |
| ·器件制备前期准备工作 | 第29-30页 |
| ·基于ITO的传统薄膜器件 | 第30-32页 |
| ·基于AZO薄膜的有机近红外探测器的性能研究 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第五章 结论 | 第37-38页 |
| 致谢 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-43页 |
| 硕士期间以第一作者发表的文章 | 第43页 |