| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题来源及意义 | 第9页 |
| ·声表面波气体传感器的研究进展与现状 | 第9-11页 |
| ·面临的问题 | 第11页 |
| ·本论文的立项依据和主要解决的问题 | 第11-13页 |
| 第二章 SAW 气体传感器及适用于 SAW 气体传感器的压电材料 | 第13-21页 |
| ·SAW 气体传感器的结构及原理 | 第13-17页 |
| ·SAW 气体传感器的结构 | 第13-16页 |
| ·SAW 气体传感器的检测原理 | 第16-17页 |
| ·适用于 SAW 气体传感器的压电材料 | 第17-21页 |
| ·适用于 SAW 气体传感器的压电材料的特点 | 第17-18页 |
| ·BN 压电材料的特点 | 第18-19页 |
| ·BN 压电材料与传统压电材料的对比 | 第19-21页 |
| 第三章 BN 薄膜的制备方法及表征技术 | 第21-29页 |
| ·射频磁控溅射技术 | 第21-24页 |
| ·溅射机理 | 第21-22页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第22-23页 |
| ·射频磁控溅射的特点 | 第23页 |
| ·JGP450 超高真空多功能溅射系统 | 第23-24页 |
| ·BN 薄膜的表征技术 | 第24-29页 |
| ·傅里叶变换红外光谱分析 | 第24-25页 |
| ·原子力显微镜 | 第25-26页 |
| ·压电力显微镜 | 第26-27页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第27-29页 |
| 第四章 实验过程及实验结果的讨论 | 第29-48页 |
| ·正交试验设计 | 第29页 |
| ·实验准备 | 第29-30页 |
| ·实验过程及结果讨论 | 第30-48页 |
| ·实验过程 | 第30-31页 |
| ·实验结果及讨论 | 第31-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |