微热板阵列式气体检测元件的设计、仿真与制备
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·国内外微结构气体检测元件研究现状和发展 | 第10-14页 |
| ·国外微结构气体传感器的研究现状 | 第11-12页 |
| ·国内微结构气体传感器的研究现状 | 第12-13页 |
| ·微结构气体传感器的发展趋势 | 第13-14页 |
| ·本论文研究目标和主要内容 | 第14-17页 |
| 第2章 微热板阵列式气体检测元件的关键技术 | 第17-29页 |
| ·金属氧化物半导体材料气敏机理研究 | 第17-18页 |
| ·微热板研究 | 第18-19页 |
| ·ANSYS 分析中的热分析 | 第19-22页 |
| ·传热方式类型 | 第19-21页 |
| ·热分析类型 | 第21页 |
| ·ANSYS 稳态热分析流程 | 第21-22页 |
| ·MEMS 器件加工工艺概述 | 第22-27页 |
| ·光学曝光 | 第22-23页 |
| ·刻蚀技术 | 第23-24页 |
| ·化学气相沉积 | 第24-25页 |
| ·溅射镀膜 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 微热板阵列式气体检测元件的结构设计与仿真 | 第29-39页 |
| ·微热板阵列式气体检测元件的整体结构 | 第29-30页 |
| ·微热板的设计 | 第30-31页 |
| ·各层材料的选定 | 第31-34页 |
| ·厚度的确定 | 第34-38页 |
| ·基底厚度的确定 | 第34-35页 |
| ·加热电极厚度的确定 | 第35-36页 |
| ·隔热层的厚度确定 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 微热板阵列式气体检测元件的工艺设计与实现 | 第39-51页 |
| ·微热板阵列式气体检测元件的整体工艺设计 | 第39-40页 |
| ·微结构气体传感器的制作 | 第40-49页 |
| ·牺牲层的制作 | 第40-43页 |
| ·隔热层的制作 | 第43-44页 |
| ·加热电极的制作 | 第44-46页 |
| ·绝缘层与测试电极的制作 | 第46-47页 |
| ·敏感薄膜的制作 | 第47-48页 |
| ·背腔刻蚀 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 ZNO 薄膜实验测试与分析 | 第51-57页 |
| ·ZNO 薄膜形貌分析 | 第51-53页 |
| ·实验装置 | 第51-52页 |
| ·实验结果及分析 | 第52-53页 |
| ·ZNO 薄膜晶体结构分析 | 第53-55页 |
| ·实验装置 | 第53-54页 |
| ·实验结果及分析 | 第54-55页 |
| ·ZNO 薄膜电学性能分析 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第6章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·论文的主要创新点 | 第57页 |
| ·工作总结 | 第57-58页 |
| ·工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 硕士期间发表的论文及完成的主要工作 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
