| 目录 | 第1-6页 |
| CONTENT | 第6-8页 |
| 中文摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 符号说明 | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·研究硅基发光的目的、意义 | 第13-14页 |
| ·改善硅基发光的途径 | 第14-22页 |
| ·多孔硅 | 第15-17页 |
| ·硅基直接带隙材料 | 第17-18页 |
| ·缺陷工程 | 第18-21页 |
| ·纳米晶硅和富纳米晶硅二氧化硅体系(SRSO) | 第21-22页 |
| ·掺Er的富纳米晶硅二氧化硅体系(Er：SRSO)和掺杂Ce的富纳米晶硅二氧化硅体系(Ce：SRSO) | 第22页 |
| ·本论文选题思路与主要研究工作 | 第22-25页 |
| 第2章 实验制备方法和测试系统 | 第25-35页 |
| ·制备技术及设备 | 第25-28页 |
| ·样品的制备 | 第28页 |
| ·快速退火 | 第28-29页 |
| ·样品的测量 | 第29-30页 |
| ·测量分析技术 | 第30-35页 |
| 第3章 掺杂Er的纳米晶硅的结构和发光性质 | 第35-47页 |
| ·样品微结构特征 | 第35-36页 |
| ·发光机制 | 第36-42页 |
| ·铒的电子层结构和能级 | 第36-37页 |
| ·饵之间的能量传递、激发和去激发 | 第37-39页 |
| ·Er~(3+)在纳米硅镶嵌二氧化硅薄膜中的发光 | 第39-40页 |
| ·理论计算模型 | 第40-42页 |
| ·样品的PL谱分析 | 第42-44页 |
| ·样品的PLE谱线分析 | 第44-45页 |
| ·样品的拉曼光谱分析 | 第45-47页 |
| 第4章 掺杂Ce的纳米晶硅的发光性质 | 第47-57页 |
| ·发光机制 | 第47-49页 |
| ·掺杂浓度和Ce发光的关系 | 第49-52页 |
| ·退火温度和Ce发光的关系 | 第52-54页 |
| ·退火气氛和Ce发光的关系 | 第54-57页 |
| 第5章 全文总结 | 第57-59页 |
| 引文出处及参考文献 | 第59-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第67-68页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第68页 |