| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-34页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第16-17页 |
| ·传统移相器研究现状 | 第17-21页 |
| ·移相器原理 | 第17-18页 |
| ·移相器主要技术指标 | 第18-19页 |
| ·传统移相器研究现状 | 第19-21页 |
| ·新型移相器研究现状 | 第21-27页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第21-22页 |
| ·射频MEMS 技术 | 第22-24页 |
| ·开关线型MEMS 移相器 | 第24-25页 |
| ·反射型MEMS 移相器 | 第25-26页 |
| ·分布式MEMS 传输线移相器. | 第26-27页 |
| ·DMTL 移相器国内外研究现状 | 第27-32页 |
| ·国外研究现状. | 第27-31页 |
| ·国内研究现状. | 第31-32页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 DMTL 移相器下拉电压和响应时间研究 | 第34-50页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·DMTL 移相器下拉电压模型和集总模型 | 第34-37页 |
| ·MEMS 电容开关下拉电压模型建立 | 第34-36页 |
| ·MEMS 电容开关集总模型建立. | 第36-37页 |
| ·MEMS 电容开关下拉电压分析 | 第37-40页 |
| ·MEMS 电容开关响应时间分析 | 第40-47页 |
| ·MEMS 电容开关设计与分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 DMTL 移相器MEMS 桥动态特性研究 | 第50-66页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·影响MEMS 桥二维分布动态方程物理因素 | 第50-55页 |
| ·MEMS 桥大挠度 | 第50-53页 |
| ·MEMS 桥残余应力 | 第53-54页 |
| ·MEMS 桥边缘效应 | 第54页 |
| ·MEMS 桥阻尼效应 | 第54-55页 |
| ·MEMS 桥二维分布动态方程建立 | 第55-56页 |
| ·MEMS 桥静态加载分析 | 第56-61页 |
| ·MEMS 桥动态加载分析 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第4章 硅基锯齿形DMTL 移相器的研究 | 第66-88页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·硅基锯齿形DMTL 移相器等效电路模型 | 第66-69页 |
| ·硅基锯齿形DMTL 移相器结构 | 第66-68页 |
| ·硅基锯齿形DMTL 移相器相移分析 | 第68-69页 |
| ·硅基锯齿形DMTL 移相器等效电路参数提取. | 第69-76页 |
| ·锯齿形共面波导等效电路特征阻抗计算. | 第69-70页 |
| ·MEMS 桥up 和down 态等效电容计算 | 第70-73页 |
| ·MEMS 桥down 态等效电感计算 | 第73-75页 |
| ·锯齿形共面波导不连续处等效串联电感和并联电容计算 | 第75-76页 |
| ·硅基锯齿形DMTL 移相器结构参数优化 | 第76-84页 |
| ·锯齿形DMTL 移相器S 参数提取 | 第76-78页 |
| ·锯齿形DMTL 移相器射频性能分析 | 第78-84页 |
| ·三维电磁仿真分析 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第5章 硅基DMTL 移相器封装结构研究 | 第88-100页 |
| ·引言 | 第88-89页 |
| ·MEMS 器件芯片级封装模式射频性能分析 | 第89-91页 |
| ·芯片微封装结构与其制备工艺设计 | 第91-94页 |
| ·芯片微封装结构设计 | 第91-92页 |
| ·薄硅衬底制备 | 第92页 |
| ·垂直互连线制备 | 第92页 |
| ·微封装结构制备工艺设计 | 第92-94页 |
| ·结构参数对器件射频性能影响分析 | 第94-97页 |
| ·衬底厚度对器件射频性能影响 | 第94-95页 |
| ·圆柱状垂直互连线半径对器件射频性能影响 | 第95-96页 |
| ·微空腔高度对器件射频性能影响 | 第96-97页 |
| ·芯片微封装分布式MEMS 传输线移相器射频性能 | 第97-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第6章 硅基锯齿形DMTL 移相器电容开关制备与测试 | 第100-108页 |
| ·引言 | 第100-104页 |
| ·加工工艺设计 | 第100-102页 |
| ·加工工艺重点要求 | 第102页 |
| ·版图设计 | 第102-104页 |
| ·加工样品实物图 | 第104页 |
| ·射频性能参数测试 | 第104-107页 |
| ·样品在片测试及系统校准 | 第105-106页 |
| ·测试结果分析 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-122页 |
| 附录 | 第122-123页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第123-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 个人简历 | 第127页 |