| 内容提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·MEMS概述 | 第7-10页 |
| ·概述 | 第7-8页 |
| ·MEMS的特点 | 第8-9页 |
| ·MEMS应用领域 | 第9-10页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第10-13页 |
| ·MEMS加速度传感器的分类 | 第10-11页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器 | 第11-13页 |
| ·MEMS电容加速度传感器的检测电路 | 第13-14页 |
| ·本论文研究的主要内容和意义 | 第14-16页 |
| ·论文研究意义 | 第14页 |
| ·论文的主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 电容式MEMS微加速度传感器的测量控制原理 | 第16-26页 |
| ·变间隙电容式MEMS微加速度传感器原理 | 第16-19页 |
| ·变面积MEMS电容微加速度传感器原理 | 第19-21页 |
| ·微小电容信号的检测方法 | 第21-24页 |
| ·电容-频率(C-f)转换法 | 第21-22页 |
| ·开关电容法 | 第22-23页 |
| ·电容电桥法 | 第23页 |
| ·电荷放大法 | 第23-24页 |
| ·信号检测电路的基本要求及实现方案 | 第24-26页 |
| 第三章 MEMS电容式加速度传感器接口检测电路的设计 | 第26-47页 |
| ·检测电路的总体方案 | 第26-27页 |
| ·前置放大电路设计研究 | 第27-30页 |
| ·电容-电压变换及放大电路 | 第29页 |
| ·差分相减电路 | 第29-30页 |
| ·带通滤波与交流放大部分设计研究 | 第30-35页 |
| ·相敏检波电路的设计研究 | 第35-41页 |
| ·开关相敏检波 | 第36-37页 |
| ·乘法器检波 | 第37-40页 |
| ·利用乘法器MC1596 构成的检波电路 | 第40-41页 |
| ·低通滤波电路的设计研究 | 第41-45页 |
| ·接口检测电路总图 | 第45-47页 |
| 第四章 检测电路的实现及性能测试 | 第47-62页 |
| ·主要元器件及其参数选择 | 第47-49页 |
| ·运算放大器 | 第47-48页 |
| ·集成模拟乘法器 | 第48-49页 |
| ·关于实验中的大电容和实际需要测量小电容的讨论 | 第49-50页 |
| ·电路的计算机仿真实验及其结果 | 第50-55页 |
| ·前置放大部分 | 第50-51页 |
| ·带通滤波与交流放大电路 | 第51-52页 |
| ·相敏检波电路 | 第52-53页 |
| ·低通滤波电路 | 第53-55页 |
| ·电路的制作实验及其结果 | 第55-58页 |
| ·前置放大部分 | 第55-56页 |
| ·带通滤波与交流放大电路 | 第56页 |
| ·相敏检波电路 | 第56-57页 |
| ·低通滤波电路 | 第57-58页 |
| ·实验数据结果及性能分析 | 第58-61页 |
| ·电路的测量精度及其分析 | 第58-60页 |
| ·接口检测电路增益分析 | 第60页 |
| ·电路的抗干扰能力 | 第60-61页 |
| ·电路的误差分析 | 第61页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 摘要 | 第66-69页 |
| ABSTRACT | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |