| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| §1-1 课题背景 | 第9页 |
| §1-2 四探针测试技术的研究状况 | 第9-11页 |
| 1-2-1 国外研究状况 | 第9-10页 |
| 1-2-2 国内研究状况 | 第10-11页 |
| §1-3 四探针测试技术的应用 | 第11页 |
| §1-4 四探针测试技术的种类 | 第11-14页 |
| 1-4-1 接触测量法 | 第11-14页 |
| 1-4-2 无接触测量法 | 第14页 |
| §1-5 本论文的主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 四探针测试方法研究 | 第16-28页 |
| §2-1 直线四探针法 | 第16-20页 |
| 2-1-1 直线四探针法的测量原理 | 第16-18页 |
| 2-1-2 直线四探针法的测准条件 | 第18-19页 |
| 2-1-3 测量电流的选择 | 第19-20页 |
| 2-1-4 常规直线四探针法的边缘和厚度修正 | 第20页 |
| 2-1-5 常规直线四探针法的测量区域 | 第20页 |
| 2-1-6 常规直线四探针法的特点 | 第20页 |
| §2-2 改进的范德堡法 | 第20-24页 |
| 2-2-1 改进的范德堡法的基本原理 | 第20-22页 |
| 2-2-2 改进范德堡法测试条件 | 第22页 |
| 2-2-3 改进范德堡法的边缘修正 | 第22-24页 |
| §2-3 斜置式方形四探针方法 | 第24-27页 |
| 2-3-1 斜置式方形四探针的基本原理 | 第24-25页 |
| 2-3-2 斜置式Rymaszewski 法方形四探针测试法的厚度修正 | 第25-27页 |
| §2-4 小结 | 第27-28页 |
| 第三章 探针游移对测试结果的影响 | 第28-42页 |
| §3-1 探针的精确定位 | 第28-29页 |
| §3-2 探针游移对测量结果造成的误差分析 | 第29-35页 |
| 3-2-1 直线四探针法探针游移对测量结果造成的误差分析 | 第29-32页 |
| 3-2-2 方形四探针探针游移造成的误差理论分析 | 第32-35页 |
| 3-2-3 两种四探针游移误差分布对比 | 第35页 |
| §3-3 解决探针游移影响的方案 | 第35-41页 |
| 3-3-1 基本原理与实际应用公式 | 第35-40页 |
| 3-3-2 实验数据及结论 | 第40-41页 |
| §3-4 小结 | 第41-42页 |
| 第四章 四探针测试系统仿真技术研究 | 第42-55页 |
| §4-1 仿真技术的背景 | 第42-43页 |
| 4-1-1 仿真测试的概述 | 第42页 |
| 4-1-2 现代仿真的基本框架 | 第42-43页 |
| 4-1-3 数字仿真的基本工作流程 | 第43页 |
| §4-2 测试系统仿真技术的研究 | 第43-54页 |
| 4-2-1 仿真软件的选择 | 第43-45页 |
| 4-2-2 电阻率测试系统的原理 | 第45-46页 |
| 4-2-3 仿真系统设计 | 第46-54页 |
| §4-3 小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-57页 |
| §5-1 总结与结论 | 第55页 |
| §5-2 展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录A | 第60-61页 |
| 附录B | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |