激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差分析与补偿方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-23页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·国内外激光干涉测量技术的研究现状 | 第9-20页 |
| ·激光干涉测量方法 | 第10-12页 |
| ·激光干涉仪的非线性误差补偿方法 | 第12-18页 |
| ·空气折射率的测量方法 | 第18-20页 |
| ·论文的研究意义 | 第20-21页 |
| ·论文的组织结构 | 第21-23页 |
| 第二章 激光合成波长纳米位移测量干涉仪系统 | 第23-40页 |
| ·本章概述 | 第23页 |
| ·激光合成波长纳米位移测量干涉仪的测量原理 | 第23-26页 |
| ·合成波长干涉条纹细分原理 | 第23-25页 |
| ·激光合成波长干涉仪测长原理 | 第25-26页 |
| ·干涉仪系统结构和信号处理系统 | 第26-32页 |
| ·系统结构框图及工作原理 | 第26-27页 |
| ·信号处理系统总体方案 | 第27-28页 |
| ·预处理电路 | 第28-29页 |
| ·计数方法及实现 | 第29-32页 |
| ·系统界面 | 第32页 |
| ·误差分析 | 第32-39页 |
| ·光源频率稳定度 | 第33-35页 |
| ·空气折射率 | 第35-36页 |
| ·大小数计数误差 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 非线性误差分析与补偿方法研究 | 第40-84页 |
| ·本章概述 | 第40页 |
| ·基本方法和理论 | 第40-46页 |
| ·偏振光理论 | 第40-42页 |
| ·光的反射和折射 | 第42-44页 |
| ·Jones 矩阵 | 第44-46页 |
| ·激光合成波长干涉仪的非线性误差分析研究 | 第46-51页 |
| ·激光合成波长干涉测量原理 | 第46-48页 |
| ·激光合成波长干涉仪的非线性误差分析 | 第48-51页 |
| ·双纵模激光器的偏振态误差 | 第51-55页 |
| ·偏振分光镜引入的误差 | 第55-68页 |
| ·偏振泄漏 | 第56-59页 |
| ·偏振非正交 | 第59-61页 |
| ·安装误差 | 第61-68页 |
| ·角锥棱镜引入的误差 | 第68-78页 |
| ·理想角锥棱镜光路特性分析 | 第69-70页 |
| ·存在直角误差的角锥棱镜的反射特性 | 第70-74页 |
| ·角锥棱镜的偏振特性 | 第74-78页 |
| ·非线性误差补偿方法的研究 | 第78-82页 |
| ·非线性误差补偿方法概述 | 第78页 |
| ·激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差补偿 | 第78-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第四章 空气折射率的测量与波长修正 | 第84-107页 |
| ·本章概述 | 第84页 |
| ·空气折射率的测量理论 | 第84-88页 |
| ·空气折射率的测量方法 | 第84页 |
| ·空气折射率的计算修正公式 | 第84-88页 |
| ·传感器的选择 | 第88-91页 |
| ·温度传感器 | 第88-89页 |
| ·湿度传感器 | 第89-90页 |
| ·气压传感器 | 第90-91页 |
| ·空气折射率的测量方案 | 第91-98页 |
| ·测量方案的选择 | 第91-92页 |
| ·硬件电路设计 | 第92-93页 |
| ·软件设计 | 第93-98页 |
| ·波长修正 | 第98-99页 |
| ·实验及误差分析 | 第99-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第五章 总结与展望 | 第107-110页 |
| ·论文的主要创新点 | 第107页 |
| ·论文完成的具体工作 | 第107-109页 |
| ·论文展望 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第115-116页 |
| 附录一 | 第116-118页 |
| 附录二 | 第118-120页 |
| 附录三 | 第120-122页 |
