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集成电路参数成品率的预测与优化技术研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-13页
第一章 绪论第13-24页
 §1.1 集成电路参数成品率的研究意义第13-14页
 §1.2 参数成品率的研究内容与现状第14-19页
 §1.3 集成电路参数成品率的研究体系第19-21页
 §1.4 本论文的内容与安排第21-24页
第二章 IC参数成品率的理论基础第24-42页
 §2.1 IC制造中的统计性第24-38页
  2.1.1 统计模型与模型参数提取第25-27页
  2.1.2 变量分析方法(ANOVA)第27-31页
  2.1.3 蒙特卡罗方法与拟蒙特卡罗方法第31-36页
  2.1.4 抽样方法第36-38页
 §2.2 IC制造的统计最优化理论第38-41页
  2.2.1 统计最优化理论第38-39页
  2.2.2 IC设计中的最优化理论第39-41页
 §2.3 本章小结第41-42页
第三章 参数成品率模型与优化第42-62页
 §3.1 参数成品率模型第42-46页
 §3.2 参数成品率的MC估计方法第46-47页
 §3.3 参数成品率的优化理论第47-56页
  3.3.1 统计性方法第48-51页
  3.3.2 确定性方法第51-55页
  3.3.3 中心值容差耦合设计方法第55-56页
 §3.4 空间分离与器件失配分析第56-61页
 §3.5 本章小结第61-62页
第四章 均匀设计的参数成品率优化第62-80页
 §4.1 MC方法及方差减小技术第62-65页
 §4.2 拟蒙特卡罗方法第65-74页
  4.2.1 均匀性度量第66-70页
  4.2.2 均匀表的构造方法第70-72页
  4.2.3 均匀设计的适用性和局限性第72-74页
  4.2.4 均匀随机设计抽样第74页
 §4.3 均匀设计在参数成品率估计和优化中的应用第74-78页
  例一、电压分压器的成品率估计第74-76页
  例二、香蕉函数的优化第76-78页
 §4.4 本章小节第78-80页
第五章 分层成品率的效益模型第80-92页
 §5.1 电路性能指标函数的构造与分档第80-85页
 §5.2 基于最优分档的效益优化模型第85-87页
 §5.3 模型的求解第87-89页
  5.3.1 模型的简化及误差估计第87-88页
  5.3.2 模型的求解第88-89页
 §5.4 算法检验与分析第89-91页
  5.4.1 测试函数检验第89-90页
  5.4.2 二输入与非门电路检验第90-91页
  5.4.3 结果分析第91页
 §5.5 本章小结第91-92页
第六章 基于均匀试验设计的RSM和成品率优化第92-110页
 §6.1 响应表面宏模型第92-93页
 §6.2 回归分析与方差检验第93-97页
  6.2.1 回归分析第93-96页
  6.2.2 方差检验第96-97页
 §6.3 试验设计第97-101页
  6.3.1 正交试验设计第98-100页
  6.3.2 均匀试验设计第100-101页
 §6.4 参数成品率设计第101-105页
  6.4.1 集成电路成品率的三次设计第101-102页
  6.4.2 参数成品率设计第102-105页
  6.4.3 参数成品率的设计模型第105页
 §6.5 响应表面模型的成品率优化第105-108页
  6.5.1 成品率优化算法第105-106页
  6.5.2 两级CMOS运算放大器的优化第106-108页
 §6.6 本章小结第108-110页
第七章 最小映射距离分析第110-116页
 §7.1 最小距离分析第110-111页
 §7.2 映射距离最小化的成品率优化算法实现第111-113页
  7.2.1 全局优化第112-113页
  7.2.2 局部优化第113页
 §7.3 实例验证第113-115页
  例一、分压器的成品率优化第113-114页
  例二、两级CMOS运放第114-115页
 § 7.4 小结第115-116页
第八章 结束语与未来展望第116-119页
致谢第119-120页
参考文献第120-134页
博士期间发表的主要论文和科研工作第134-135页

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