集成电路参数成品率的预测与优化技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| §1.1 集成电路参数成品率的研究意义 | 第13-14页 |
| §1.2 参数成品率的研究内容与现状 | 第14-19页 |
| §1.3 集成电路参数成品率的研究体系 | 第19-21页 |
| §1.4 本论文的内容与安排 | 第21-24页 |
| 第二章 IC参数成品率的理论基础 | 第24-42页 |
| §2.1 IC制造中的统计性 | 第24-38页 |
| 2.1.1 统计模型与模型参数提取 | 第25-27页 |
| 2.1.2 变量分析方法(ANOVA) | 第27-31页 |
| 2.1.3 蒙特卡罗方法与拟蒙特卡罗方法 | 第31-36页 |
| 2.1.4 抽样方法 | 第36-38页 |
| §2.2 IC制造的统计最优化理论 | 第38-41页 |
| 2.2.1 统计最优化理论 | 第38-39页 |
| 2.2.2 IC设计中的最优化理论 | 第39-41页 |
| §2.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 参数成品率模型与优化 | 第42-62页 |
| §3.1 参数成品率模型 | 第42-46页 |
| §3.2 参数成品率的MC估计方法 | 第46-47页 |
| §3.3 参数成品率的优化理论 | 第47-56页 |
| 3.3.1 统计性方法 | 第48-51页 |
| 3.3.2 确定性方法 | 第51-55页 |
| 3.3.3 中心值容差耦合设计方法 | 第55-56页 |
| §3.4 空间分离与器件失配分析 | 第56-61页 |
| §3.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 均匀设计的参数成品率优化 | 第62-80页 |
| §4.1 MC方法及方差减小技术 | 第62-65页 |
| §4.2 拟蒙特卡罗方法 | 第65-74页 |
| 4.2.1 均匀性度量 | 第66-70页 |
| 4.2.2 均匀表的构造方法 | 第70-72页 |
| 4.2.3 均匀设计的适用性和局限性 | 第72-74页 |
| 4.2.4 均匀随机设计抽样 | 第74页 |
| §4.3 均匀设计在参数成品率估计和优化中的应用 | 第74-78页 |
| 例一、电压分压器的成品率估计 | 第74-76页 |
| 例二、香蕉函数的优化 | 第76-78页 |
| §4.4 本章小节 | 第78-80页 |
| 第五章 分层成品率的效益模型 | 第80-92页 |
| §5.1 电路性能指标函数的构造与分档 | 第80-85页 |
| §5.2 基于最优分档的效益优化模型 | 第85-87页 |
| §5.3 模型的求解 | 第87-89页 |
| 5.3.1 模型的简化及误差估计 | 第87-88页 |
| 5.3.2 模型的求解 | 第88-89页 |
| §5.4 算法检验与分析 | 第89-91页 |
| 5.4.1 测试函数检验 | 第89-90页 |
| 5.4.2 二输入与非门电路检验 | 第90-91页 |
| 5.4.3 结果分析 | 第91页 |
| §5.5 本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 基于均匀试验设计的RSM和成品率优化 | 第92-110页 |
| §6.1 响应表面宏模型 | 第92-93页 |
| §6.2 回归分析与方差检验 | 第93-97页 |
| 6.2.1 回归分析 | 第93-96页 |
| 6.2.2 方差检验 | 第96-97页 |
| §6.3 试验设计 | 第97-101页 |
| 6.3.1 正交试验设计 | 第98-100页 |
| 6.3.2 均匀试验设计 | 第100-101页 |
| §6.4 参数成品率设计 | 第101-105页 |
| 6.4.1 集成电路成品率的三次设计 | 第101-102页 |
| 6.4.2 参数成品率设计 | 第102-105页 |
| 6.4.3 参数成品率的设计模型 | 第105页 |
| §6.5 响应表面模型的成品率优化 | 第105-108页 |
| 6.5.1 成品率优化算法 | 第105-106页 |
| 6.5.2 两级CMOS运算放大器的优化 | 第106-108页 |
| §6.6 本章小结 | 第108-110页 |
| 第七章 最小映射距离分析 | 第110-116页 |
| §7.1 最小距离分析 | 第110-111页 |
| §7.2 映射距离最小化的成品率优化算法实现 | 第111-113页 |
| 7.2.1 全局优化 | 第112-113页 |
| 7.2.2 局部优化 | 第113页 |
| §7.3 实例验证 | 第113-115页 |
| 例一、分压器的成品率优化 | 第113-114页 |
| 例二、两级CMOS运放 | 第114-115页 |
| § 7.4 小结 | 第115-116页 |
| 第八章 结束语与未来展望 | 第116-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-134页 |
| 博士期间发表的主要论文和科研工作 | 第134-135页 |