多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的研究
| 第一章 绪论 | 第1-24页 |
| 第一节 MEMS技术的发展 | 第13-17页 |
| ·MEMS发展现状 | 第13-15页 |
| ·发展动力 | 第15-17页 |
| 第二节 MEMS的研究内容与特点 | 第17-21页 |
| ·MEMS技术应用研究内容 | 第17页 |
| ·MEMS关键技术 | 第17-19页 |
| ·MEMS技术特点 | 第19页 |
| ·MEMS研究与发展方向 | 第19-21页 |
| 第三节 MEMS器件分类 | 第21-22页 |
| 第四节 本论文研究的内容 | 第22-24页 |
| 第二章 磁驱动微执行器 | 第24-38页 |
| 第一节 微型系统 | 第24-26页 |
| ·微型系统的组成 | 第24页 |
| ·微型系统的理论研究 | 第24-26页 |
| 第二节 磁驱动微执行器工作原理 | 第26-32页 |
| ·微执行器的驱动方式 | 第26-27页 |
| ·磁驱动原理 | 第27-32页 |
| 第三节 几种具体结构的磁微执行器 | 第32-36页 |
| ·多晶硅悬臂梁弯曲结构的磁微执行器 | 第32-33页 |
| ·基于平面线圈和永磁体结构的磁微执行器 | 第33-34页 |
| ·多层弯曲磁芯结构的磁微执行器 | 第34-36页 |
| 第四节 磁微执行器的应用 | 第36-38页 |
| ·磁微结构离子分离器 | 第36页 |
| ·磁微反射镜 | 第36-37页 |
| ·磁微继电器 | 第37-38页 |
| 第三章 多层弯曲磁芯结构磁微执行器模型与分析 | 第38-47页 |
| 第一节 基于能量的分析方法 | 第38-44页 |
| ·宏观分析 | 第39-40页 |
| ·微观分析 | 第40-41页 |
| ·激励电流与悬臂梁偏移量之间的关系 | 第41-44页 |
| 第二节 基于磁路定理的板极间磁阻宏模型 | 第44-47页 |
| ·磁路基本定律 | 第44-45页 |
| ·未考虑边缘效应的极板间磁阻解析模型 | 第45-46页 |
| ·考虑边缘效应的极板间磁阻解析模型 | 第46-47页 |
| 第四章 基于ANSYS的有限元分析 | 第47-57页 |
| 第一节 有限元方法 | 第47-51页 |
| ·有限元方法 | 第47-48页 |
| ·有限元方法的计算步骤 | 第48-51页 |
| 第二节 有限元分析软件ANSYS | 第51-53页 |
| ·ANSYS | 第51-52页 |
| ·ANSYS主要功能 | 第52-53页 |
| 第三节 ANSYS在电磁场分析中的应用 | 第53-57页 |
| ·简单2D电磁场分析 | 第53-54页 |
| ·简单直流致动器磁场模拟 | 第54-57页 |
| 第五章 多层弯曲磁芯结构磁微执行器的模拟与分析 | 第57-75页 |
| 第一节 多层弯曲磁芯结构磁微执行器有限元分析 | 第57-61页 |
| ·多层弯曲磁芯结构磁微执行器的等效模型 | 第57-58页 |
| ·模型的二维有限元分析 | 第58-61页 |
| 第二节 多层弯曲磁芯结构磁微执行器的模拟 | 第61-70页 |
| ·建立几何模型 | 第62-63页 |
| ·定义材料单元类型 | 第63-64页 |
| ·划分网格 | 第64-66页 |
| ·施加载荷 | 第66-67页 |
| ·求解 | 第67-68页 |
| ·查看结果 | 第68-70页 |
| 第三节 分析与讨论 | 第70-75页 |
| ·悬臂梁受力 | 第70-72页 |
| ·模拟与能量法计算结果的比较 | 第72-75页 |
| 第六章 结束语 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
