ULSI铜互连线微结构与应力及其对电徙动影响的研究

中文摘要	第1-6页
英文摘要	第6-7页
第1章 绪论	第7-17页
1．1 研究背景	第7-14页
1．1．1 铝互连技术	第9-10页
1．1．2 铜互连技术	第10-14页
1．2 本论文研究内容	第14-17页
第2章 实验样品制备	第17-21页
第3章 实验方法	第21-31页
3．1 铜互连线微观结构分析	第21-24页
3．1．1 铜互连线形貌和晶粒尺寸的观测	第22页
3．1．2 铜互连线晶体学取向分析	第22-24页
3．2 铜互连线界面扩散分析	第24页
3．3 铜互连线应力分析	第24-27页
3．4 铜互连线电徙动加速寿命实验	第27-31页
3．4．1 电徙动理论	第27-30页
3．4．2 电徙动实验方案	第30-31页
第4章 实验结果与讨论	第31-59页
4．1 铜互连线微观结构的研究	第31-49页
4．1．1 晶粒结构	第31-34页
4．1．2 晶体学取向	第34-44页
4．1．3 Ta和SiON扩散阻挡层	第44-49页
4．2 铜互连线应力的研究	第49-52页
4．3 铜互连线电徙动的研究	第52-59页
4．3．1 实验结果	第52-57页
4．3．2 失效机理	第57-59页
结论	第59-63页
参考文献	第63-69页
感谢	第69页