组件针孔疵病检测仪测试技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·组件针孔检测仪科学研究的技术背景 | 第7-11页 |
| ·半导体表面常见缺陷及其形成过程 | 第7-10页 |
| ·图像分析处理 | 第10页 |
| ·硬、软件系统设计 | 第10页 |
| ·计算机自动控制 | 第10-11页 |
| ·组件针孔疵病检测仪系统概况 | 第11-13页 |
| ·组件针孔疵病检测仪的系统原理 | 第11-12页 |
| ·组件针孔疵病检测仪的软件系统结构组成 | 第12-13页 |
| ·本论文所作的工作 | 第13-14页 |
| 2 自动聚焦的基本理论 | 第14-27页 |
| ·数字图像自动聚焦概述 | 第14-17页 |
| ·自动调焦原理 | 第15-16页 |
| ·自动聚焦的系统构成 | 第16-17页 |
| ·自动聚焦算法 | 第17-23页 |
| ·灰度梯度函数 | 第18-20页 |
| ·图像信息嫡函数 | 第20-22页 |
| ·频域评价函数 | 第22页 |
| ·改进的自动聚焦评价函数 | 第22-23页 |
| ·镜头成像系统分析 | 第23-27页 |
| ·光学成像系统的点扩散函数 | 第23-24页 |
| ·光学成像系统的光学传递函数 | 第24-25页 |
| ·镜头成像系统分析 | 第25-27页 |
| 3 图像分析 | 第27-34页 |
| ·图像分析概述 | 第27页 |
| ·图像分析算法 | 第27-34页 |
| ·离散傅立叶变换 | 第28-30页 |
| ·哈达马变换 | 第30-31页 |
| ·离散余弦变换 | 第31页 |
| ·小波变换 | 第31-34页 |
| 4 组件针孔疵病检测仪硬、软件系统 | 第34-46页 |
| ·组件针孔疵病检测仪硬件系统 | 第34-43页 |
| ·显微镜装置 | 第35-38页 |
| ·CCD图像采集读取系统 | 第38-39页 |
| ·样品扫描系统及夹具装置 | 第39-42页 |
| ·计算机系统 | 第42-43页 |
| ·基于组件针孔疵病检测仪硬件的软件系统 | 第43-46页 |
| ·组件针孔疵病检测仪计算机数据采集及分析系统 | 第43-44页 |
| ·组件针孔疵病检测仪交互软件系统 | 第44页 |
| ·组件针孔疵病检测仪软件控制系统 | 第44-46页 |
| 5 实验与结果分析 | 第46-62页 |
| ·系统的技术要求 | 第46-47页 |
| ·自动聚焦实验 | 第47-51页 |
| ·图像聚焦前的预处理 | 第47-48页 |
| ·自动聚焦评价函数的比较 | 第48-49页 |
| ·实际自动聚焦结果 | 第49-51页 |
| ·组件表面实验 | 第51-61页 |
| ·精度实验 | 第51页 |
| ·对比度实验 | 第51-53页 |
| ·瑕疵检测实验 | 第53-61页 |
| ·结果分析 | 第61-62页 |
| 6 结束语 | 第62-64页 |
| ·本文所做的工作 | 第62页 |
| ·本文的创新点 | 第62-63页 |
| ·有待进一步解决的问题 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
