| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·ZnO 的晶体结构及性质和用途 | 第9-10页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第9页 |
| ·ZnO 薄膜的性质和用途 | 第9-10页 |
| ·ZnO 气敏薄膜的研究状况 | 第10-12页 |
| ·ZnO 薄膜的制备技术 | 第12-14页 |
| ·半导体气体传感器研究概况 | 第14-17页 |
| ·本课题的研究内容和目的 | 第17-18页 |
| 2 Zn、Ti 共溅射薄膜的制备与表征 | 第18-27页 |
| ·磁控共溅射简介 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射工作原理 | 第18-19页 |
| ·反应磁控溅射生长薄膜的特点 | 第19页 |
| ·薄膜的制备 | 第19-22页 |
| ·薄膜沉积系统 | 第19-20页 |
| ·薄膜沉积工艺 | 第20-22页 |
| ·薄膜的结构性能分析 | 第22-26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| 3 ZnO:Ti 薄膜气敏性能研究 | 第27-37页 |
| ·测试气敏性能的意义及衡量参数 | 第27-28页 |
| ·气敏性能测试的意义 | 第27页 |
| ·衡量气敏性能的参数 | 第27-28页 |
| ·气敏测试系统 | 第28-29页 |
| ·ZnO 薄膜对 LPG(液化石油气)的气敏性 | 第29-30页 |
| ·ZnO:Ti 薄膜对 LPG(液化石油气)的气敏性 | 第30-33页 |
| ·不同掺杂功率制备薄膜的敏感度 | 第30-31页 |
| ·样品的响应-恢复时间 | 第31-32页 |
| ·综合分析 | 第32-33页 |
| ·ZnO:Ti 薄膜对酒精气体的敏感度 | 第33-34页 |
| ·气敏机理分析 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 4 Zn、Sn 共溅射薄膜的制备与气敏性研究 | 第37-44页 |
| ·薄膜的制备与表征 | 第37-38页 |
| ·薄膜气敏性能研究 | 第38-42页 |
| ·不同 Sn 功率制备的薄膜对酒精气敏性的影响 | 第39-40页 |
| ·Sn70W 制备薄膜对酒精气体的气敏性研究 | 第40-41页 |
| ·薄膜对气体的选择性 | 第41-42页 |
| ·敏感机理 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 5 结论 | 第44-46页 |
| ·结论 | 第44页 |
| ·今后工作需要注意的问题 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |