| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·表面形貌测量技术的发展历程及国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·微表面三维形貌检测的意义 | 第10页 |
| ·微表面三维形貌的测量方法 | 第10-14页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第11-12页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第12-13页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第13-14页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第14页 |
| ·其它光学轮廓检测方法 | 第14页 |
| ·微观表面形貌测量技术研究现状及发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本论文的目的 | 第15-17页 |
| 第2章 Linnik 白光干涉系统的设计 | 第17-28页 |
| ·白光干涉系统总体结构 | 第17-21页 |
| ·三维可调固定架及载物台的设计 | 第17-18页 |
| ·隔光圆台的设计 | 第18页 |
| ·放大倍率以及数值孔径 | 第18-19页 |
| ·干涉光路的平衡设计 | 第19-20页 |
| ·成像系统的分辨率和成像系统的景深 | 第20-21页 |
| ·照明系统设计 | 第21-25页 |
| ·低功率调光电路设计 | 第21-22页 |
| ·照明光路的原则和方法 | 第22页 |
| ·照明光路结构 | 第22-23页 |
| ·照明系统的主要性能参数 | 第23-25页 |
| ·干涉系统的光能计算 | 第25-27页 |
| ·光学系统的光能损失 | 第25-26页 |
| ·干涉系统的光能阈值 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 80C196KC 控制的闭环微纳定位扫描系统设计 | 第28-49页 |
| ·闭环PZT微纳定位扫描系统的总体设计结构 | 第28-29页 |
| ·闭环PZT微纳定位扫描系统的硬件设计 | 第29-37页 |
| ·单片机系统 | 第29-30页 |
| ·后向通道D/A | 第30页 |
| ·驱动电源 | 第30-35页 |
| ·传感器及检测系统 | 第35-36页 |
| ·串口通信 | 第36-37页 |
| ·闭环PZT微纳定位扫描系统的软件设计 | 第37-42页 |
| ·PID控制策略 | 第38-39页 |
| ·模糊控制策略 | 第39-42页 |
| ·实验研究 | 第42-48页 |
| ·驱动电源系统测试 | 第42-46页 |
| ·闭环微纳扫描系统的仿真与结果 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 快速FFT 的分块算法实现 | 第49-57页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·算法原理 | 第49-56页 |
| ·一维FFT变换的分块矩阵法 | 第49-53页 |
| ·二维快速FFT变换的分块矩阵法 | 第53-55页 |
| ·三维快速FFT的分块变换算法 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 工件表面磨损痕迹的三维重建及表征 | 第57-79页 |
| ·三维重建算法研究 | 第57-62页 |
| ·白光干涉测量算法 | 第57页 |
| ·重心法 | 第57-58页 |
| ·移相算法 | 第58-59页 |
| ·包络曲线拟合法 | 第59-61页 |
| ·空间频域算法 | 第61页 |
| ·算法的比较 | 第61-62页 |
| ·闭环微纳定位扫描系统的测量步骤及三维重建过程 | 第62-64页 |
| ·工件表面磨损痕迹的三维重建 | 第64-65页 |
| ·原始图像数据分析 | 第64-65页 |
| ·磨损痕迹的三维重建 | 第65页 |
| ·工件表面磨损痕迹的表征 | 第65-77页 |
| ·磨损的概念 | 第65-66页 |
| ·磨损的表示方法 | 第66-67页 |
| ·磨损规律 | 第67-68页 |
| ·磨损机理 | 第68-71页 |
| ·磨损痕迹的表征 | 第71-77页 |
| ·系统装置实物图 | 第77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第6章 工作总结与展望 | 第79-80页 |
| ·全文的工作总结 | 第79页 |
| ·论文的创新点 | 第79页 |
| ·后续工作的设想 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 作者攻读硕士期间发表的学术论文 | 第86-87页 |