| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-16页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·压力传感器发展概况 | 第11-13页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要工作和论文安排 | 第14-16页 |
| 第2章 硅桥式压阻压力传感器的原理及分析 | 第16-23页 |
| ·硅桥式压阻压力传感器基本原理 | 第16-21页 |
| ·半导体的压阻效应 | 第16-17页 |
| ·硅桥式压阻压力传感器的原理及结构 | 第17-18页 |
| ·压力传感器的特性指标 | 第18-21页 |
| ·硅桥式压阻压力传感器温度漂移产生的机理 | 第21-22页 |
| ·本章小节 | 第22-23页 |
| 第3章 硅桥式压阻压力传感器温度补偿的研究 | 第23-29页 |
| ·温度补偿的技术指标 | 第23-24页 |
| ·现有补偿方式简介 | 第24-26页 |
| ·内部补偿 | 第24页 |
| ·外部补偿 | 第24-26页 |
| ·传感器的输出温度特性研究 | 第26-27页 |
| ·补偿思路 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第4章 温度补偿电路设计 | 第29-47页 |
| ·温度补偿电路结构分析 | 第29页 |
| ·带隙基准电压源的电路设计 | 第29-43页 |
| ·带隙基准电压源的指标 | 第30-32页 |
| ·核心电路设计 | 第32-37页 |
| ·偏置电路设计 | 第37-39页 |
| ·运算放大器的设计 | 第39-43页 |
| ·PTAT电压和激励电压源V_(exe)(t)的产生 | 第43-44页 |
| ·电压缓冲器的设计 | 第44-45页 |
| ·总体电路设计 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 补偿电路的仿真验证与分析 | 第47-61页 |
| ·仿真软件简介 | 第47页 |
| ·电路各模块的仿真 | 第47-54页 |
| ·运算放大器的仿真 | 第47-51页 |
| ·带隙基准电压源的仿真 | 第51-53页 |
| ·电压缓冲器的仿真 | 第53-54页 |
| ·温度补偿的仿真验证 | 第54-60页 |
| ·传感器的SPICE模型建立 | 第54-56页 |
| ·整体电路仿真及补偿效果验证 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论与展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |