电容式微加工超声换能器阵列设计与测试
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 电容式微加工超声换能器阵列设计 | 第16-28页 |
| 2.1 CMUT单膜共振频率 | 第17-18页 |
| 2.2 阵元间距 | 第18-21页 |
| 2.3 阵元个数 | 第21-23页 |
| 2.4 延时法则计算 | 第23-27页 |
| 2.4.1 相控偏转 | 第24-25页 |
| 2.4.2 相控聚焦 | 第25-26页 |
| 2.4.3 相控偏转加聚焦 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 电容式微加工超声换能器测试系统硬件设计 | 第28-40页 |
| 3.1 系统总体设计 | 第28-29页 |
| 3.2 多路脉冲发射单元 | 第29-32页 |
| 3.2.1 直交流耦合电路 | 第30页 |
| 3.2.2 脉冲驱动电路 | 第30-32页 |
| 3.3 多通道放大采集单元 | 第32-39页 |
| 3.3.1 两级放大电路 | 第34-35页 |
| 3.3.2 低噪声优化 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 电容式微加工超声换能器测试系统软件设计 | 第40-46页 |
| 4.1 CMUT信号产生程序 | 第40-43页 |
| 4.1.1 延时算法设计 | 第41-42页 |
| 4.1.2 FPGA程序实现 | 第42-43页 |
| 4.2 CMUT信号采集程序 | 第43-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 阵列加工与声学测试 | 第46-62页 |
| 5.1 CMUT的加工及形貌测试 | 第46-50页 |
| 5.1.1 工艺流程 | 第46-48页 |
| 5.1.2 表面形貌测试 | 第48-49页 |
| 5.1.3 阻抗分析测试 | 第49-50页 |
| 5.2 CMUT声学实验 | 第50-57页 |
| 5.2.1 CMUT发射实验 | 第51-53页 |
| 5.2.2 CMUT接收实验 | 第53-54页 |
| 5.2.3 CMUT自发自收实验 | 第54-55页 |
| 5.2.4 CMUT盲区范围优化 | 第55-57页 |
| 5.3 CMUT阵列测试 | 第57-61页 |
| 5.3.1 CMUT相控偏转 | 第57-59页 |
| 5.3.2 CMUT发射聚焦 | 第59-60页 |
| 5.3.3 CMUT相控接收 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 总结 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
