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镓扩散铌酸锂晶体光波导的制备及表征

摘要第3-4页
abstract第4页
第一章 绪论第7-13页
    1.1 集成光学的发展第7页
    1.2 集成光学器件材料的选取第7-8页
    1.3 铌酸锂晶体的性能第8页
    1.4 铌酸锂晶体的掺杂改性第8-10页
        1.4.1 抗光折变的掺杂第9页
        1.4.2 有源离子的掺杂第9-10页
    1.5 铌酸锂波导的制备工艺第10-11页
    1.6 本论文的工作和意义第11-13页
第二章 扩散理论综述第13-21页
    2.1 铌酸锂晶体结构第13-14页
    2.2 晶体扩散理论第14-18页
        2.2.1 菲克定律第14-16页
        2.2.2 影响扩散的因素第16-17页
        2.2.3 扩散的微观机制第17-18页
    2.3 扩散研究方法第18-21页
        2.3.1 二次离子质谱分析第18-20页
        2.3.2 扫描隧道电子显微镜技术第20-21页
第三章 光波导理论基础第21-31页
    3.1 麦克斯韦方程组第21-22页
    3.2 平面介质光波导第22-25页
        3.2.1 平面介质光波导模型第22-23页
        3.2.2 平面型光波导传输模式分析第23-25页
    3.3 条形光波导传输模式分析第25-31页
        3.3.1 马克帝里(Marcatili)近似第26-29页
        3.3.2 有效折射率法第29-31页
第四章 镓扩散铌酸锂晶体单模条形光波导的制备及表征第31-57页
    4.1 靶材的制作第31-35页
        4.1.1 压制氧化镓靶材第32-34页
        4.1.2 烧结第34-35页
    4.2 铌酸锂晶片的切割清洗第35-37页
    4.3 光波导的制备工艺第37-44页
        4.3.1 光刻工艺第37-41页
        4.3.2 镀膜工艺第41-43页
        4.3.3 抛光工艺第43-44页
    4.4 相关仪器的使用及工作原理第44-47页
        4.4.1 棱镜耦合仪简介第45-46页
        4.4.2 台阶仪简介第46-47页
    4.5 光波导的制备及表征第47-57页
        4.5.1 镓扩散铌酸锂晶体单模条形光波导的制备及表征第47-54页
        4.5.2 镓扩散钽酸锂单模条形光波导第54-57页
第五章 铒镓共掺钛扩散铌酸锂晶体条形光波导的制备及表征第57-67页
    5.1 铒镓共掺钛扩散铌酸锂晶体单模条形光波导的制备及表征第57-61页
        5.1.1 Ti:Ga:Er:LN单模条形光波导的制备第57-58页
        5.1.2 Ti:Ga:Er:LN单模条形光波导光学特性的表征第58-61页
    5.2 Ti:Ga:Er:LN单模条形光波导信号增强因子的测定第61-67页
        5.2.1 Er离子第61页
        5.2.2 信号增强因子的测定及分析第61-67页
第六章 总结与展望第67-69页
参考文献第69-73页
发表论文和参加科研情况说明第73-75页
致谢第75页

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