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砷化镓为基的量子点浮栅型存储器保持特性研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-19页
    1.1 存储器现状第9-11页
    1.2 非易失性存储器简介第11-12页
    1.3 非易失性存储器的发展第12-16页
    1.4 砷化镓器件研究意义第16-17页
    1.5 本文主要工作及内容安排第17-19页
2 量子点浮栅存储器工作原理第19-25页
    2.1 浮栅存储器工作机制第19-20页
    2.2 浮栅存储器常见输运机制第20-23页
    2.3 量子点浮栅存储器相关效应第23-24页
    2.4 本章小结第24-25页
3 单层量子点存储结构的保持特性研究第25-35页
    3.1 保持状态模型建立第25-27页
    3.2 模拟结果分析第27-33页
    3.3 本章小结第33-35页
4 双层量子点存储结构的保持特性研究第35-45页
    4.1 模型建立第35-42页
    4.2 模拟结果分析第42-44页
    4.3 本章小结第44-45页
5 GaAs为基的Si量子点浮栅存储器的实验研究第45-53页
    5.1 实验方案第45-46页
    5.2 器件制备工艺第46-49页
    5.3 电学特性的测量第49页
    5.4 实验结果分析第49-51页
    5.5 本章小结第51-53页
6 总结与展望第53-56页
    6.1 总结第53-54页
    6.2 展望第54-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-62页

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