| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 厚度测量方法的研究概况 | 第10-13页 |
| 1.3 国内外白光干涉的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 课题的来源及研究现状 | 第15页 |
| 1.5 本文的主要工作和内容安排 | 第15-17页 |
| 2 系统测厚基本原理 | 第17-25页 |
| 2.1 白光干涉原理 | 第17-18页 |
| 2.2 常见白光干涉分光光路 | 第18-20页 |
| 2.3 系统测厚基本原理 | 第20-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-25页 |
| 3 系统总体设计 | 第25-34页 |
| 3.1 系统关键光学元件选型 | 第25-27页 |
| 3.2 光学成像系统设计 | 第27-30页 |
| 3.3 系统机械结构设计 | 第30-32页 |
| 3.4 本章总结 | 第32-34页 |
| 4 系统测量软件设计 | 第34-52页 |
| 4.1 软件总体设计 | 第34-36页 |
| 4.2 十字刻线中心提取算法 | 第36-38页 |
| 4.3 任意方向条纹斜率算法 | 第38-40页 |
| 4.4 提取白光干涉零级条纹中心的三色条纹分离度方法 | 第40-51页 |
| 4.5 本章总结 | 第51-52页 |
| 5 系统功能验证 | 第52-68页 |
| 5.1 系统光路调整 | 第52-53页 |
| 5.2 系统标定实验 | 第53-58页 |
| 5.3 系统厚度测量实验 | 第58-63页 |
| 5.4 系统性能及测量误差分析 | 第63-67页 |
| 5.5 本章总结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |