| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第11-13页 |
| 1.2 微型旋转机械PowerMEMS综述 | 第13-15页 |
| 1.3 微型气体轴承综述 | 第15-20页 |
| 1.3.1 微型刚性气体轴承简介 | 第16页 |
| 1.3.2 微型半柔性气体轴承简介 | 第16-18页 |
| 1.3.3 微型箔片气体轴承简介 | 第18-20页 |
| 1.4 微型气体轴承的研究现状 | 第20-23页 |
| 1.4.1 微型气体轴承的国外研究 | 第20-22页 |
| 1.4.2 微型气体轴承的国内研究 | 第22页 |
| 1.4.3 微型气体轴承研究的共性问题 | 第22-23页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 微型多叶气体箔片轴承的设计与加工 | 第25-32页 |
| 2.1 微型多叶气体箔片轴承的设计 | 第25页 |
| 2.2 微型多叶气体箔片轴承的加工 | 第25-31页 |
| 2.2.1 UV-LIGA和X-LIGA的比较 | 第26页 |
| 2.2.2 掩膜版的加工 | 第26-27页 |
| 2.2.3 UV-LIGA加工 | 第27-30页 |
| 2.2.4 直流微电铸及光刻胶剥离 | 第30-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 微型多叶气体箔片轴承力学建模和润滑理论 | 第32-46页 |
| 3.1 箔片变形的力学建模 | 第32-40页 |
| 3.1.1 弹性基底的结构参数 | 第32-34页 |
| 3.1.2 弯曲悬臂梁变形柔度矩阵 | 第34-37页 |
| 3.1.3 弯曲悬臂梁箔片水平梁上任意点位移 | 第37-39页 |
| 3.1.4 相邻弯曲悬臂梁箔片之间的顶箔变形 | 第39-40页 |
| 3.1.5 相邻弯曲悬臂梁箔片变形的验证 | 第40页 |
| 3.2 微型多叶气体箔片轴承的润滑理论模型 | 第40-44页 |
| 3.2.1 气膜润滑径向轴承雷诺方程 | 第41-42页 |
| 3.2.2 雷诺方程的无量纲化 | 第42-43页 |
| 3.2.3 气膜厚度方程 | 第43页 |
| 3.2.4 压力边界条件处理 | 第43-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 微型多叶气体箔片轴承静动态特性研究 | 第46-62页 |
| 4.1 静态雷诺方程数值求解 | 第46-49页 |
| 4.1.1 雷诺方程的有限差分离散降阶 | 第46-47页 |
| 4.1.2 基于Newton-Raphson和低松弛迭代法求解Reynolds方程 | 第47页 |
| 4.1.3 微型多叶箔片气体轴承的承载力 | 第47页 |
| 4.1.4 静态程序计算流程 | 第47-49页 |
| 4.2 微型多叶气体箔片轴承静态特性研究 | 第49-55页 |
| 4.2.1 轴承工作参数对静态性能的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.2 箔片结构对静态性能的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.3 预留间隙对静态性能的影响 | 第52-55页 |
| 4.3 动态特性数值求解 | 第55-58页 |
| 4.3.1 动态雷诺方程的扰动法处理 | 第55-56页 |
| 4.3.2 扰动气膜厚度与箔片变形 | 第56页 |
| 4.3.3 扰动边界条件 | 第56-57页 |
| 4.3.4 轴承动态系数的推导 | 第57页 |
| 4.3.5 动态系数数值求解流程 | 第57-58页 |
| 4.4 微型多叶气体箔片轴承动态特性研究 | 第58-60页 |
| 4.4.1 轴承转速对动态性能的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.2 轴承载荷对动态性能的影响 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 PowerMEMS仿真及实验台搭建 | 第62-68页 |
| 5.1 PowerMEMS轴承转子动力学仿真 | 第62-65页 |
| 5.1.1 PowerMEMS结构设计 | 第62-63页 |
| 5.1.2 微型多叶气体箔片轴承-转子动力学仿真 | 第63-65页 |
| 5.2 PowerMEMS实验台搭建 | 第65-67页 |
| 5.2.1 实验台总体结构设计加工 | 第65-66页 |
| 5.2.2 实验台细节设计加工 | 第66-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 附录 A 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第77-78页 |
| 附录 B 攻读学位期间所参加的科研项目 | 第78页 |