| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 金属辅助化学刻蚀制备硅微纳结构的概述 | 第11-16页 |
| 1.2.1 简单金属辅助刻蚀法 | 第12页 |
| 1.2.2 形貌复杂的金属催化剂辅助刻蚀法 | 第12-13页 |
| 1.2.3 纳米球模板法 | 第13-14页 |
| 1.2.4 阳极氧化铝(AAO)模板法 | 第14-16页 |
| 1.3 硅纳米结构的应用 | 第16-20页 |
| 1.3.1 太阳能电池 | 第16-19页 |
| 1.3.2 电化学储能 | 第19-20页 |
| 1.3.3 光电探测器 | 第20页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 基于MaCE调控硅纳米结构机理 | 第22-31页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 金属辅助化学刻蚀法机理 | 第22-24页 |
| 2.3 硅纳米形貌结构调控机理 | 第24-28页 |
| 2.3.1 对硅纳米结构形貌的调控 | 第24-27页 |
| 2.3.2 对蚀刻速率的影响 | 第27-28页 |
| 2.4 硅纳米结构的制备工艺 | 第28-29页 |
| 2.4.1 MaCE制备硅纳米结构的技术难点 | 第28页 |
| 2.4.2 磁效应对硅纳米结构制备的影响 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 实验方案和表征仪器 | 第31-39页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 实验方案 | 第31-33页 |
| 3.2.1 磁效应作用下Ag沉积时间对制备硅纳米结构形貌的影响 | 第31页 |
| 3.2.2 磁场强度对制备硅纳米结构形貌的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.3 磁效应作用下氧化剂含量对制备硅纳米结构形貌的影响 | 第32页 |
| 3.2.4 磁效应对制备硅纳米结构形貌的影响 | 第32-33页 |
| 3.3 实验设备 | 第33-36页 |
| 3.3.1 实验器械 | 第33-35页 |
| 3.3.2 实验试剂 | 第35-36页 |
| 3.4 实验流程 | 第36-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 MaCE法磁效应下硅纳米结构的形貌分析 | 第39-53页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 Ag沉积时间的影响 | 第39-42页 |
| 4.3 磁效应的影响 | 第42-45页 |
| 4.4 磁场强度的影响 | 第45-49页 |
| 4.5 氧化剂的影响 | 第49-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 磁效应作用下MaCE制备的硅纳米结构减反性研究 | 第53-60页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 硅纳米结构的减反理论 | 第53-55页 |
| 5.3 磁效应对MaCE制备出硅纳米结构减反性的影响 | 第55-57页 |
| 5.3.1 磁效应对减反性的影响 | 第55-56页 |
| 5.3.2 磁场强度对减反性的影响 | 第56-57页 |
| 5.4 Ag沉积时间对减反性的影响 | 第57-58页 |
| 5.5 氧化剂浓度对减反性的影响 | 第58-59页 |
| 5.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第6章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60-61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录 | 第68页 |
