基于DSP的栅电极电容位移测量系统研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 精密位移测量技术国内外现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 光学式精密位移测量 | 第11-13页 |
| 1.2.2 磁栅式位移测量 | 第13页 |
| 1.2.3 电感式位移测量 | 第13-14页 |
| 1.2.4 电容位移传感器现状 | 第14-16页 |
| 1.2.5 传统电容位移传感器存在的问题 | 第16页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 电容位移测量系统原理与分析 | 第18-32页 |
| 2.1 电容位移传感器基础理论 | 第18-25页 |
| 2.1.1 变极距型电容位移传感器 | 第19-22页 |
| 2.1.2 变面积型电容位移传感器 | 第22-23页 |
| 2.1.3 容栅位移传感器 | 第23-24页 |
| 2.1.4 传感器等效电路 | 第24-25页 |
| 2.2 电容位移传感器检测电路原理 | 第25-30页 |
| 2.2.1 AC桥路式测量电路 | 第26-27页 |
| 2.2.2 调频式测量电路 | 第27页 |
| 2.2.3 差动脉冲调宽式测量电路 | 第27-28页 |
| 2.2.4 运算放大器式测量电路 | 第28-29页 |
| 2.2.5 本文选择电路方案 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 新型栅电极电容位移传感器 | 第32-42页 |
| 3.1 新型栅电极电容位移传感器理论建模 | 第32-34页 |
| 3.2 单通道接收电极调制函数推导 | 第34-37页 |
| 3.3 气隙对单通道幅值调制函数的影响 | 第37-39页 |
| 3.4 方向鉴别功能的实现 | 第39页 |
| 3.5 双通道瞬时输出信号幅值归一化处理 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 接收电极信号处理系统设计 | 第42-58页 |
| 4.1 电极耦合信号处理电路 | 第42-45页 |
| 4.1.1 放大电路 | 第42-43页 |
| 4.1.2 无源滤波器 | 第43-44页 |
| 4.1.3 精密整流电路 | 第44-45页 |
| 4.2 DSP数据采集电路 | 第45-51页 |
| 4.2.1 TMS320F28335芯片性能 | 第45-46页 |
| 4.2.2 DSP外设电路 | 第46-49页 |
| 4.2.3 AD7606外设电路 | 第49页 |
| 4.2.4 比较电路和逻辑电路 | 第49-51页 |
| 4.3 CCS软件设计 | 第51-56页 |
| 4.3.1 主程序 | 第52-53页 |
| 4.3.2 eQEP位移采样子程序 | 第53-55页 |
| 4.3.3 AD电压采样子程序 | 第55-56页 |
| 4.4 系统干扰分析及解决 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 测量系统试验及数据分析 | 第58-72页 |
| 5.1 系统试验平台搭建 | 第58-61页 |
| 5.1.1 栅电极PCB板制作 | 第58-59页 |
| 5.1.2 DSP数据采集板设计 | 第59-60页 |
| 5.1.3 系统测试平台 | 第60-61页 |
| 5.2 实验过程及结果分析 | 第61-69页 |
| 5.2.1 整脉冲位移重复检测精度 | 第61-62页 |
| 5.2.2 单通道信号的气隙响应特性 | 第62-65页 |
| 5.2.3 双通道信号的幅值波动补偿 | 第65-66页 |
| 5.2.4 分辨率、灵敏度、线性度测试 | 第66-68页 |
| 5.2.5 连续位移重复检测精度 | 第68-69页 |
| 5.3 误差来源分析 | 第69-70页 |
| 5.4 系统达到的技术性能指标 | 第70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-72页 |
| 第6章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 总结 | 第72-73页 |
| 6.2 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第79-81页 |
| 浙江师范大学学位论文诚信承诺书 | 第81页 |
