射频模块成型缺陷测量方法研究及系统开发
摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第11-15页 |
1.1 课题来源 | 第11页 |
1.2 课题的研究背景及意义 | 第11页 |
1.3 国内外的研究现状及趋势 | 第11-14页 |
1.4 课题主要内容 | 第14-15页 |
第二章 基板翘曲测量方法研究 | 第15-25页 |
2.1 翘曲定义 | 第15页 |
2.2 测量对象分析 | 第15-16页 |
2.3 翘曲测量的实现 | 第16-24页 |
2.3.1 数字条纹投影测量 | 第17-21页 |
2.3.2 光学干涉测量 | 第21-24页 |
本章小结 | 第24-25页 |
第三章 焊接空洞率测量方法研究 | 第25-31页 |
3.1 芯片焊接与空洞率分析 | 第25-26页 |
3.2 X光扫描技术与超声波扫描技术研究 | 第26-27页 |
3.3 焊接空洞率测量的实现 | 第27-30页 |
本章小结 | 第30-31页 |
第四章 微通道尺寸与互联层间错位测量方法研究 | 第31-41页 |
4.1 微通道及层间互联背景 | 第31-33页 |
4.1.1 微通道背景 | 第31-32页 |
4.1.2 层间互联背景 | 第32-33页 |
4.2 工业CT技术 | 第33-34页 |
4.3 微通道尺寸测量的实现 | 第34-39页 |
4.4 互联层间错位测量的实现 | 第39-40页 |
本章小结 | 第40-41页 |
第五章 图像处理技术基础 | 第41-63页 |
5.1 图像的空间域滤波 | 第41-50页 |
5.1.1 噪声来源及滤波原理 | 第41-44页 |
5.1.2 平均滤波 | 第44-45页 |
5.1.3 高斯滤波 | 第45-48页 |
5.1.4 自适应中值滤波 | 第48-50页 |
5.2 图像的对比度增强 | 第50-55页 |
5.2.1 灰度直方图 | 第50-51页 |
5.2.2 对比度的线性增强 | 第51-52页 |
5.2.3 伽马变换 | 第52-54页 |
5.2.4 直方图均衡化 | 第54-55页 |
5.3 图像的二值化 | 第55-58页 |
5.3.1 手动阈值法 | 第55-56页 |
5.3.2 迭代选择阈值法 | 第56-57页 |
5.3.3 最大类间方差法 | 第57-58页 |
5.4 图像的边缘提取 | 第58-62页 |
5.4.1 一阶梯度检测算子 | 第59-60页 |
5.4.2 Canny边缘检测算子 | 第60-61页 |
5.4.3 边缘检测实例 | 第61-62页 |
本章小结 | 第62-63页 |
第六章 基于图像处理测量系统开发 | 第63-77页 |
6.1 MATLAB软件介绍 | 第63页 |
6.2 测量系统主界面 | 第63-64页 |
6.3 空洞率测量模块 | 第64-68页 |
6.3.1 空洞率测量原理 | 第64-65页 |
6.3.2 空洞率测量模块开发 | 第65-68页 |
6.3.3 空洞率测量模块误差分析 | 第68页 |
6.4 微通道尺寸测量模块 | 第68-73页 |
6.4.1 微通道尺寸测量原理 | 第68-69页 |
6.4.2 微通道尺寸测量模块开发 | 第69-72页 |
6.4.3 微通道尺寸测量系统误差分析 | 第72-73页 |
6.5 互联层间错位测量模块 | 第73-76页 |
6.5.1 测量原理 | 第73-74页 |
6.5.2 互联层间错位测量模块开发 | 第74-75页 |
6.5.3 互联层间错位测量模块误差分析 | 第75-76页 |
本章小结 | 第76-77页 |
第七章 全文总结与展望 | 第77-79页 |
7.1 全文总结 | 第77页 |
7.2 未来研究与展望 | 第77-79页 |
致谢 | 第79-80页 |
参考文献 | 第80-83页 |
附录 | 第83-84页 |