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射频模块成型缺陷测量方法研究及系统开发

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第11-15页
    1.1 课题来源第11页
    1.2 课题的研究背景及意义第11页
    1.3 国内外的研究现状及趋势第11-14页
    1.4 课题主要内容第14-15页
第二章 基板翘曲测量方法研究第15-25页
    2.1 翘曲定义第15页
    2.2 测量对象分析第15-16页
    2.3 翘曲测量的实现第16-24页
        2.3.1 数字条纹投影测量第17-21页
        2.3.2 光学干涉测量第21-24页
    本章小结第24-25页
第三章 焊接空洞率测量方法研究第25-31页
    3.1 芯片焊接与空洞率分析第25-26页
    3.2 X光扫描技术与超声波扫描技术研究第26-27页
    3.3 焊接空洞率测量的实现第27-30页
    本章小结第30-31页
第四章 微通道尺寸与互联层间错位测量方法研究第31-41页
    4.1 微通道及层间互联背景第31-33页
        4.1.1 微通道背景第31-32页
        4.1.2 层间互联背景第32-33页
    4.2 工业CT技术第33-34页
    4.3 微通道尺寸测量的实现第34-39页
    4.4 互联层间错位测量的实现第39-40页
    本章小结第40-41页
第五章 图像处理技术基础第41-63页
    5.1 图像的空间域滤波第41-50页
        5.1.1 噪声来源及滤波原理第41-44页
        5.1.2 平均滤波第44-45页
        5.1.3 高斯滤波第45-48页
        5.1.4 自适应中值滤波第48-50页
    5.2 图像的对比度增强第50-55页
        5.2.1 灰度直方图第50-51页
        5.2.2 对比度的线性增强第51-52页
        5.2.3 伽马变换第52-54页
        5.2.4 直方图均衡化第54-55页
    5.3 图像的二值化第55-58页
        5.3.1 手动阈值法第55-56页
        5.3.2 迭代选择阈值法第56-57页
        5.3.3 最大类间方差法第57-58页
    5.4 图像的边缘提取第58-62页
        5.4.1 一阶梯度检测算子第59-60页
        5.4.2 Canny边缘检测算子第60-61页
        5.4.3 边缘检测实例第61-62页
    本章小结第62-63页
第六章 基于图像处理测量系统开发第63-77页
    6.1 MATLAB软件介绍第63页
    6.2 测量系统主界面第63-64页
    6.3 空洞率测量模块第64-68页
        6.3.1 空洞率测量原理第64-65页
        6.3.2 空洞率测量模块开发第65-68页
        6.3.3 空洞率测量模块误差分析第68页
    6.4 微通道尺寸测量模块第68-73页
        6.4.1 微通道尺寸测量原理第68-69页
        6.4.2 微通道尺寸测量模块开发第69-72页
        6.4.3 微通道尺寸测量系统误差分析第72-73页
    6.5 互联层间错位测量模块第73-76页
        6.5.1 测量原理第73-74页
        6.5.2 互联层间错位测量模块开发第74-75页
        6.5.3 互联层间错位测量模块误差分析第75-76页
    本章小结第76-77页
第七章 全文总结与展望第77-79页
    7.1 全文总结第77页
    7.2 未来研究与展望第77-79页
致谢第79-80页
参考文献第80-83页
附录第83-84页

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