基于MEMS工艺太赫兹倍频器研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 太赫兹波的特点及应用 | 第10-11页 |
| 1.2 太赫兹倍频器的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.3 太赫兹倍频器的国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.1 太赫兹倍频器国外研究现状 | 第12页 |
| 1.3.2 太赫兹倍频器国内研究现状 | 第12页 |
| 1.3.3 小结 | 第12-14页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 倍频器原理分析与MEMS工艺介绍 | 第16-29页 |
| 2.1 倍频器原理 | 第16-17页 |
| 2.2 倍频器分类及实现方法 | 第17-19页 |
| 2.2.1 倍频器分类 | 第17-19页 |
| 2.2.2 倍频器的实现途径 | 第19页 |
| 2.3 倍频器参数 | 第19-20页 |
| 2.4 偶次倍频原理 | 第20-21页 |
| 2.5 倍频器非线性分析 | 第21-24页 |
| 2.6 MEMS工艺特点 | 第24-26页 |
| 2.7 MEMS工艺过程 | 第26-28页 |
| 2.7.1 集成电路工艺 | 第26页 |
| 2.7.2 硅基微型机构加工制造技术 | 第26-28页 |
| 2.8 章节小结 | 第28-29页 |
| 第三章 K波段二倍频器 | 第29-40页 |
| 3.1 设计方案 | 第29-30页 |
| 3.2 匹配电路的设计 | 第30-33页 |
| 3.2.1 输入输出阻抗计算 | 第30-31页 |
| 3.2.2 输入输出匹配电路设计 | 第31-33页 |
| 3.3 带通滤波器的设计 | 第33-36页 |
| 3.4 整体仿真 | 第36-37页 |
| 3.5 加工与测试 | 第37-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 W波段二倍频器设计 | 第40-55页 |
| 4.1 W波段倍频器设计方案 | 第40-41页 |
| 4.2 二极管与基片的选择 | 第41-44页 |
| 4.2.1 二极管模型 | 第41-42页 |
| 4.2.2 基片电路的选择 | 第42-44页 |
| 4.3 输入输出微带探针仿真设计 | 第44-47页 |
| 4.4 低通滤波器设计 | 第47-49页 |
| 4.5 直流偏置电路设计 | 第49-51页 |
| 4.6 输入输出匹配电路设计 | 第51-53页 |
| 4.7 整体仿真 | 第53-54页 |
| 4.8 章节小结 | 第54-55页 |
| 第五章 290GHz二倍频器设计 | 第55-67页 |
| 5.1 设计方案 | 第55页 |
| 5.2 二极管与基片的选择 | 第55-56页 |
| 5.3 输入输出探针仿真设计 | 第56-58页 |
| 5.4 低通滤波器设计 | 第58-59页 |
| 5.5 直流偏置电路的设计 | 第59-61页 |
| 5.6 输入输出匹配 | 第61-63页 |
| 5.7 整体仿真 | 第63-66页 |
| 5.8 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第72-73页 |
