基于电化学微细加工的MEMS能量采集器研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-30页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 能量采集器 | 第10-20页 |
| 1.2.1 谐振式能量采集器 | 第11-17页 |
| 1.2.2 柔性可穿戴能量采集器 | 第17-18页 |
| 1.2.3 能量采集器的系统应用 | 第18-20页 |
| 1.3 电化学微细加工的能量采集器 | 第20-25页 |
| 1.3.1 硅基衬底能量采集器 | 第21-22页 |
| 1.3.2 金属衬底能量采集器 | 第22-23页 |
| 1.3.3 电化学微细加工的能量采集器 | 第23-25页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第二章 电化学MEMS微细加工工艺研究 | 第30-47页 |
| 2.1 电镀微细加工工艺研究 | 第30-38页 |
| 2.1.1 电镀材料 | 第30-31页 |
| 2.1.2 电镀液 | 第31-33页 |
| 2.1.3 胶膜材料 | 第33-38页 |
| 2.2 电镀条件和工艺流程 | 第38-42页 |
| 2.2.1 镀层厚度理论计算 | 第38-39页 |
| 2.2.2 电流密度的选择 | 第39-40页 |
| 2.2.3 工艺流程 | 第40-42页 |
| 2.3 单晶硅腐蚀工艺 | 第42-44页 |
| 2.3.1 TMAH腐蚀液 | 第42-43页 |
| 2.3.2 KOH腐蚀液 | 第43-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 第三章 柔性可穿戴能量采集器 | 第47-63页 |
| 3.1 器件设计 | 第47-48页 |
| 3.2 理论建模与仿真分析 | 第48-51页 |
| 3.3 电化学微细加工 | 第51-53页 |
| 3.4 测试 | 第53-59页 |
| 3.4.1 材料性能测试 | 第53页 |
| 3.4.2 实验室测试 | 第53-58页 |
| 3.4.3 可穿戴演示 | 第58-59页 |
| 3.5 多方向柔性能量采集器 | 第59-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第四章 对振动阈值自感知的宽频带能量采集器 | 第63-71页 |
| 4.1 结构设计 | 第63-64页 |
| 4.2 分析与仿真 | 第64-65页 |
| 4.2.1 阈值计算 | 第64页 |
| 4.2.2 磁力仿真 | 第64-65页 |
| 4.3 样机制造 | 第65-66页 |
| 4.4 测试 | 第66-69页 |
| 4.4.1 振动测试系统搭建 | 第66页 |
| 4.4.2 结果与讨论 | 第66-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-72页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
