类金刚石薄膜的相变参数研究和应用
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·类金刚石膜简介 | 第10-11页 |
| ·类金刚石薄膜的结构 | 第11-12页 |
| ·类金刚石膜的性能及其应用 | 第12-16页 |
| ·机械性能及应用 | 第12-14页 |
| ·电学性能及应用 | 第14页 |
| ·光学性能及应用 | 第14-15页 |
| ·生物医学性能及应用 | 第15-16页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·物理气相沉积 | 第16-17页 |
| ·化学气相沉积 | 第17-20页 |
| ·类金刚石薄膜内应力研究现状 | 第20-21页 |
| ·类金刚石膜技术存在的主要问题 | 第21-22页 |
| ·本课题的提出和完成的主要工作 | 第22-23页 |
| 第二章 DLC膜的制备和表征方法 | 第23-32页 |
| ·PECVD方法制备DLC膜 | 第23-25页 |
| ·衬底材料及实验气体 | 第23页 |
| ·PECVD系统简介 | 第23-24页 |
| ·DLC膜的制备过程 | 第24-25页 |
| ·DLC膜的表征方法 | 第25-31页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜 | 第26-27页 |
| ·纳米压痕仪 | 第27-30页 |
| ·台阶仪 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 实验结果及有限元模拟分析 | 第32-43页 |
| ·实验样品的结构表征 | 第32-36页 |
| ·拉曼光谱检测 | 第32-33页 |
| ·轮廓仪 | 第33-35页 |
| ·纳米压痕仪测量薄膜的硬度及杨氏模量 | 第35-36页 |
| ·有限元软件模拟及分析 | 第36-42页 |
| ·温度变化引起的变形和应力 | 第37-38页 |
| ·薄膜材料相变系数的定义 | 第38页 |
| ·泊松比对相变系数的影响 | 第38-40页 |
| ·类金刚石薄膜材料的相变系数 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 用相变系数分析DLC涂层的应力 | 第43-51页 |
| ·涂层厚度对薄膜残余应力的影响 | 第43-44页 |
| ·多层涂层的应力分析 | 第44-47页 |
| ·无相变体积变化的涂层 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读学位期间发表的论文及参与的科研工作 | 第57-58页 |
