FIB轰击辅助脆性材料SEM在线纳米切削的实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 纳米切削机理研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 分子动力学模拟研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 纳米加工实验研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 离子注入研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.1 离子注入 | 第14页 |
| 1.3.2 离子注入辅助加工的国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 课题的研究内容和目标 | 第15-17页 |
| 第2章 单晶硅离子注入基础及实验研究 | 第17-29页 |
| 2.1 FIB/SEM工作原理 | 第17-21页 |
| 2.1.1 FIB基本原理 | 第17-19页 |
| 2.1.2 SEM基本原理 | 第19-21页 |
| 2.2 离子注入的蒙特卡洛模拟研究 | 第21-25页 |
| 2.2.1 SRIM简介 | 第21-22页 |
| 2.2.2 离子注入的蒙特卡洛模拟 | 第22-25页 |
| 2.3 离子注入实验研究 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 离子注入改性层的TEM样品制备及表征 | 第29-41页 |
| 3.1 TEM系统介绍 | 第29-30页 |
| 3.2 TEM样品制备 | 第30-39页 |
| 3.2.1 机械研磨+离子减薄 | 第31页 |
| 3.2.2 化学减薄+离子减薄 | 第31-32页 |
| 3.2.3 FIB lift-out制样 | 第32-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 单晶硅纳米切削实验研究 | 第41-61页 |
| 4.1 纳米切削实验平台介绍 | 第41-45页 |
| 4.1.1 纳米切削平台系统构成及技术指标 | 第41-43页 |
| 4.1.2 平台装配及对刀 | 第43-45页 |
| 4.2 金刚石刀具的制备 | 第45-50页 |
| 4.2.1 刀具制备 | 第45-46页 |
| 4.2.2 刀具磨损 | 第46-47页 |
| 4.2.3 刀具修锐 | 第47-50页 |
| 4.3 单晶硅纳米切削实验研究 | 第50-60页 |
| 4.3.1 离子注入辅助纳米切削实验研究 | 第50-56页 |
| 4.3.2 离子注入辅助多次纳米切削实验研究 | 第56-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 碳化硅纳米切削实验研究 | 第61-67页 |
| 5.1 碳化硅介绍及研究意义 | 第61-63页 |
| 5.2 SiC离子注入辅助纳米切削实验研究 | 第63-66页 |
| 5.2.1 单次纳米切削实验研究 | 第64-65页 |
| 5.2.2 多次纳米切削实验研究 | 第65-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 课题研究总结 | 第67-68页 |
| 6.2 课题展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
