| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 引言 | 第11-22页 |
| 1.1 论文的背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第12-15页 |
| 1.3 几种描述等离子体的方法 | 第15-20页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第20-22页 |
| 2 扩散效应下微波放电理论基础介绍 | 第22-27页 |
| 2.1 扩散效应下微波放电理论基础 | 第23-25页 |
| 2.2 小结与讨论 | 第25-27页 |
| 3 氮气等离子体中电子碰撞行为 | 第27-51页 |
| 3.1 电子与氮分子的主要碰撞行为 | 第28-47页 |
| 3.2 氮分子之间的碰撞 | 第47-48页 |
| 3.3. 电子的其它碰撞行为 | 第48-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 开放空间低气压微波氮气等离子体全域模型 | 第51-62页 |
| 4.1 开放空间低气压氮气等离子体全域模型中的碰撞频率 | 第51-59页 |
| 4.2 开放空间低气压微波氮气等离子体全域模型 | 第59-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 实验平台与诊断 | 第62-78页 |
| 5.1 实验平台 | 第62-63页 |
| 5.2 氮分子发射光谱诊断技术 | 第63-76页 |
| 5.3 微波透射诊断技术 | 第76-78页 |
| 6 开放空间低气压微波脉冲氮气等离子体电子行为研究 | 第78-85页 |
| 6.1 结果与讨论 | 第78-83页 |
| 6.2 本章小结 | 第83-85页 |
| 7 总结与展望 | 第85-88页 |
| 7.1 总结 | 第85-87页 |
| 7.2 展望 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 附录 攻读博士学位期间的主要成果 | 第95页 |