| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 扫描显微镜介绍 | 第10页 |
| 1.2 近场显微镜的发展 | 第10-11页 |
| 1.3 近场扫描微波显微镜介绍 | 第11-17页 |
| 1.3.1 现阶段近场扫描微波显微镜技术 | 第12-15页 |
| 1.3.2 近场扫描衰逝微波显微镜探针和样品之间的距离控制 | 第15-17页 |
| 1.4 实验装置 | 第17-20页 |
| 第二章 微波谐振腔 | 第20-29页 |
| 2.1 微波谐振腔介绍 | 第20页 |
| 2.2 同轴结构中的TEM波表达式 | 第20-21页 |
| 2.3 TEM波在同轴结构中的模型 | 第21-24页 |
| 2.4 同轴谐振腔中TEM波的品质因数 | 第24页 |
| 2.5 开端同轴腔的模式 | 第24-25页 |
| 2.6 谐振器的耦合 | 第25-26页 |
| 2.7 像电荷发对SNMM校正和对介电常数定量计算 | 第26-29页 |
| 第三章 近场扫描衰逝微波显微镜探针制备 | 第29-34页 |
| 3.1 探针制作实验 | 第29-32页 |
| 3.2 电化学腐蚀法工作原理 | 第32-34页 |
| 第四章 谐振腔的仿真与制作 | 第34-46页 |
| 4.1 谐振腔的微波环境仿真 | 第34-38页 |
| 4.2 腔体的优化与加工 | 第38-46页 |
| 第五章 关键机械部件的设计 | 第46-51页 |
| 5.1 角度调节装置的设计与实施 | 第46-48页 |
| 5.2 样品台 | 第48-51页 |
| 第六章 白宝石介电常数测试 | 第51-60页 |
| 6.1 谐振曲线拟合 | 第51-52页 |
| 6.2 使用金对针尖直径的拟合 | 第52-60页 |
| 第七章 总结与展望 | 第60-61页 |
| 7.1 总结 | 第60页 |
| 7.2 后续工作展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录A | 第65-67页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第67页 |