首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工程材料学论文--特种结构材料论文

常压CVD法制备SnO2:F薄膜及其复合薄膜的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
1 绪论第9-20页
    1.1 引言第9页
    1.2 透明导电薄膜概述第9-12页
    1.3 SnO_2基薄膜研究进展第12-15页
    1.4 FTO薄膜光电机理第15-17页
        1.4.1 SnO_2晶体结构第15页
        1.4.2 FTO薄膜导电机理第15-16页
        1.4.3 FTO薄膜可见光高透过机理第16页
        1.4.4 FTO薄膜低辐射节能原理第16-17页
    1.5 FTO薄膜制备方法第17-19页
        1.5.1 溶胶凝胶法(Sol-Gel)第17页
        1.5.2 磁控溅射法第17页
        1.5.3 化学气相沉积法第17-18页
        1.5.4 喷雾热解法第18-19页
    1.6 本文研究内容第19-20页
2 实验与表征第20-26页
    2.1 实验装置第20-21页
    2.2 原料体系确定第21-22页
    2.3 样品制备过程第22-24页
        2.3.1 镀膜玻璃第22-23页
        2.3.2 薄膜制备工艺第23-24页
    2.4 表征方法及原理第24-26页
        2.4.1 X射线衍射仪(XRD)第24页
        2.4.2 扫描电镜(SEM)第24页
        2.4.3 方块电阻测试第24页
        2.4.4 光谱测试第24-25页
        2.4.5 雾度仪第25-26页
3 高透过FTO薄膜的制备与性能研究第26-36页
    3.1 研究背景与意义第26页
    3.2 实验工艺第26页
    3.3 F掺杂量对DMTC前驱体制备薄膜的影响第26-29页
    3.4 H_2O用量对DMTC前驱体制备薄膜的影响第29-31页
    3.5 原料总流量对FTO薄膜性能的影响第31-35页
    3.6 本章小结第35-36页
4 高雾度FTO薄膜的制备与研究第36-46页
    4.1 引言第36页
    4.2 不同水量下薄膜光、电和雾度第36-41页
        4.2.1 水对MBTC镀膜影响机理第36-38页
        4.2.2 实验结果分析第38-41页
    4.3 薄膜晶体结构对雾度的影响第41页
    4.4 薄膜表面形貌对雾度的影响第41-42页
    4.5 表面晶粒尺寸对薄膜雾度的影响第42-44页
    4.6 薄膜厚度对雾度的影响第44-45页
    4.7 本章小结第45-46页
5 遮阳低辐射FTO/ATO复合薄膜的研究第46-53页
    5.1 引言第46页
    5.2 遮阳系数计算方法第46-47页
    5.3 FTO/ATO复合薄膜的研究第47-51页
        5.3.1 实验参数第47页
        5.3.2 FTO/ATO复合薄膜的形貌和晶体结构第47-49页
        5.3.3 不同厚度FTO对FTO/ATO复合薄膜光电性质的影响第49-51页
    5.4 不同厚度FTO对FTO/ATO复合薄膜辐射率和遮阳系数的影响第51-52页
    5.5 本章结论第52-53页
6 总结第53-55页
参考文献第55-59页
硕士期间发表的论文、专利和参加的项目第59-60页
致谢第60页

论文共60页,点击 下载论文
上一篇:深部巷道非对称变形分区特征及影响因素
下一篇:硅系延期药配方及延期元件工艺研究