| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 引言 | 第9-20页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 太阳能选择性吸收涂层研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 太阳能选择性吸收涂层的基本概念 | 第10-11页 |
| 1.2.2 太阳能选择性吸收涂层的基本原理 | 第11-12页 |
| 1.2.2.1 体吸收型涂层 | 第11-12页 |
| 1.2.2.2 干涉-滤波型涂层 | 第12页 |
| 1.2.2.3 凹凸表面型涂层 | 第12页 |
| 1.2.3 太阳能选择性吸收涂层的制备方法 | 第12-16页 |
| 1.2.3.1 电化学沉积法 | 第13页 |
| 1.2.3.2 电化学转换法 | 第13-14页 |
| 1.2.3.3 涂料法 | 第14-15页 |
| 1.2.3.4 溶胶-凝胶法 | 第15页 |
| 1.2.3.5 真空蒸发法 | 第15页 |
| 1.2.3.6 溅射沉积法 | 第15-16页 |
| 1.3 太阳能选择性吸收涂层的结构及设计 | 第16-18页 |
| 1.4 论文的研究内容、目标及主要贡献 | 第18-20页 |
| 1.4.1 研究内容与目标 | 第18页 |
| 1.4.2 论文主要创新点 | 第18-20页 |
| 2 Al-Al 单层复合膜的微观结构及光学性能 | 第20-32页 |
| 2.1 导论 | 第20页 |
| 2.2 研究方法 | 第20-24页 |
| 2.2.1 Al-AlN 复合膜的制备方法 | 第20-21页 |
| 2.2.1.1 基片材料及预处理 | 第20页 |
| 2.2.1.2 中频磁控溅射沉积技术 | 第20-21页 |
| 2.2.1.3 薄膜沉积工艺 | 第21页 |
| 2.2.2 Al-AlN 复合膜的微观结构分析方法 | 第21-22页 |
| 2.2.2.1 表面形貌 | 第21-22页 |
| 2.2.2.2 成分及化学结合状态 | 第22页 |
| 2.2.3 Al-AlN 复合膜的光学常数计算方法 | 第22-24页 |
| 2.3 Al-AlN 复合膜的微观结构 | 第24-29页 |
| 2.3.1 Al-AlN 复合膜表面形貌分析 | 第24-25页 |
| 2.3.2 Al-AlN 复合膜XPS 分析 | 第25-29页 |
| 2.4 Al-AlN 复合膜的光学性能 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 多层 Al-AlN选择性吸收涂层的设计 | 第32-58页 |
| 3.1 导论 | 第32页 |
| 3.2 选择性吸收涂层设计的理论基础及过程 | 第32-40页 |
| 3.2.1 菲涅耳公式 | 第32-34页 |
| 3.2.2 单层膜的反射率计算 | 第34页 |
| 3.2.3 多层膜的反射率计算 | 第34-38页 |
| 3.2.4 程序设计 | 第38-40页 |
| 3.3 选择性吸收涂层的设计结果 | 第40-54页 |
| 3.3.1 选择性吸收涂层光学性能预测 | 第40页 |
| 3.3.2 Al/Al-AlN 两层膜的光学性能 | 第40-41页 |
| 3.3.3 Al/Al-AlN/AlN 三层膜的光学性能 | 第41-44页 |
| 3.3.4 Al/Al-AlN(Ⅱ)/Al-AlN(Ⅰ)/AlN 四层膜系的光学性能 | 第44-54页 |
| 3.4 五层膜结构的Al-AlN 选择性吸收涂层的理论计算值与实验测量对比 | 第54-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 结论及展望 | 第58-60页 |
| 4.1 论文结论 | 第58-59页 |
| 4.2 对下一步工作的建议 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 附录 | 第63-65页 |
