| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 文献综述 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 纳米材料 | 第10-11页 |
| 1.2.1 纳米材料概述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 纳米材料应用范围 | 第11页 |
| 1.3 国内外气体传感检测系统的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.4 甲烷检测传感器 | 第12-17页 |
| 1.4.1 甲烷传感器的分类 | 第12-16页 |
| 1.4.2 MEMS传感器 | 第16-17页 |
| 1.5 甲烷催化燃烧传感器用催化剂 | 第17-22页 |
| 1.5.1 贵金属催化剂 | 第18-20页 |
| 1.5.2 金属氧化物催化剂 | 第20-22页 |
| 1.5.3 甲烷催化剂载体 | 第22页 |
| 1.6 论文选题及意义 | 第22-23页 |
| 第2章 基于介孔氧化铑/氧化铝复合材料的MEMS甲烷催化燃烧传感器的研究 | 第23-38页 |
| 2.1 引言 | 第23-24页 |
| 2.2 实验原料、仪器及表征设备 | 第24-25页 |
| 2.2.1 实验药品与试剂 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验仪器设备 | 第25页 |
| 2.3 介孔氧化铑/氧化铝的合成 | 第25-26页 |
| 2.3.1 氧化铝溶胶的配制 | 第25页 |
| 2.3.2 不同摩尔比Rh-Al复合溶胶的配制 | 第25-26页 |
| 2.3.3 不同摩尔比Rh_2O_3/介孔γ-Al_20_3催化材料的制备 | 第26页 |
| 2.4 不同摩尔比介孔氧化铑/氧化铝的表征 | 第26-32页 |
| 2.4.1 不同摩尔比介孔氧化铑/氧化铝的XRD测试结果 | 第26-27页 |
| 2.4.2 不同摩尔比介孔氧化铑/氧化铝的XPS测试结果 | 第27-28页 |
| 2.4.3 不同摩尔比介孔氧化铑/氧化铝的BET测试结果 | 第28-29页 |
| 2.4.4 不同摩尔比介孔氧化铑/氧化铝的TEM测试结果 | 第29-32页 |
| 2.5 MEMS传感器的制备与测试 | 第32-37页 |
| 2.5.1 MEMS催化燃烧传感器的制作 | 第32页 |
| 2.5.2 MEMS催化燃烧传感器的测试 | 第32-37页 |
| 2.6 本章结论 | 第37-38页 |
| 第3章 基于氧化物载体钌体系催化剂的MEMS甲烷催化燃烧传感器的研究 | 第38-55页 |
| 3.1 引言 | 第38-39页 |
| 3.2 实验原料、仪器及表征设备 | 第39-40页 |
| 3.2.1 实验药品与试剂 | 第39页 |
| 3.2.2 实验仪器设备 | 第39-40页 |
| 3.3 RuO_2/Al_2O_3与RuO_2/CeO_2的制备 | 第40页 |
| 3.3.1 介孔γ-Al_20_3的合成 | 第40页 |
| 3.3.2 介孔CeO_2的合成 | 第40页 |
| 3.3.3 RuO_2/Al_2O_3的合成 | 第40页 |
| 3.3.4 RuO 2/CeO_2的合成 | 第40页 |
| 3.4 RuO_2/Al_2O_3与RuO_2/CeO_2的表征 | 第40-46页 |
| 3.4.1 RuO_2/Al_2O_3与RuO_2/CeO_2的X射线衍射测试结果 | 第40-41页 |
| 3.4.2 RuO_2/Al_2O_3与RuO_2/CeO_2的BET测试结果 | 第41-42页 |
| 3.4.3 RuO_2/Al_2O_3与RuO_2/CeO_2的透射电子显微镜(TEM)与电子能谱(EDS)测试结果 | 第42-43页 |
| 3.4.4 RuO_2/Al_2O_3与RuO-2/CeO_2的催化剂性能测试 | 第43-46页 |
| 3.5 MEMS传感器的制作与测试 | 第46-53页 |
| 3.5.1 微加热器上黑白元件的制作 | 第46-49页 |
| 3.5.2 MEMS甲烷催化燃烧传感器的性能测试 | 第49-53页 |
| 3.6 本章结论 | 第53-55页 |
| 第4章 基于铝酸锌载体钌体系催化剂的MEMS甲烷催化燃烧传感器的研究 | 第55-64页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 实验药品及仪器 | 第56-57页 |
| 4.2.1 实验药品及试剂 | 第56页 |
| 4.2.2 实验仪器设备 | 第56-57页 |
| 4.3 两种方法合成RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料 | 第57页 |
| 4.3.1 溶胶凝胶法合成RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料 | 第57页 |
| 4.3.2 反相微乳液法合成RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料 | 第57页 |
| 4.4 两种方法合成的RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料的表征 | 第57-62页 |
| 4.4.1 RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料的X射线衍射结果 | 第57-58页 |
| 4.4.2 RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料的BET结果 | 第58-59页 |
| 4.4.3 RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料的TEM与EDS结果 | 第59-61页 |
| 4.4.4 RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料的催化性能测试 | 第61-62页 |
| 4.5 基于反相微乳液法RuO_2/ZnAl_2O_4催化材料的MEMS甲烷催化燃烧传感器的制作与测试 | 第62-63页 |
| 4.5.1 MEMS甲烷催化燃烧传感器的制作 | 第62页 |
| 4.5.2 MEMS甲烷催化燃烧传感器的测试 | 第62-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在读期间发表论文 | 第74页 |
