| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第18-21页 |
| 2. 微玻璃半球谐振陀螺的工作原理 | 第21-27页 |
| 2.1 微玻璃半球谐振陀螺的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 微玻璃半球谐振陀螺的工作模式 | 第22-24页 |
| 2.3 微玻璃半球谐振陀螺的激励与检测 | 第24-26页 |
| 2.3.1 微玻璃半球谐振陀螺的激励 | 第24-25页 |
| 2.3.2 微玻璃半球谐振陀螺的检测 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3. 微玻璃半球谐振陀螺结构设计与分析 | 第27-42页 |
| 3.1 微玻璃半球谐振陀螺的结构设想 | 第27-28页 |
| 3.1.1 环形玻璃电极的微玻璃半球谐振陀螺 | 第27页 |
| 3.1.2 硅电极的微玻璃半球谐振陀螺 | 第27-28页 |
| 3.2 微玻璃半球谐振陀螺的结构 | 第28-30页 |
| 3.3 微玻璃半球谐振子的结构 | 第30-34页 |
| 3.3.1 微玻璃半球谐振子的模态分析 | 第30-33页 |
| 3.3.2 微玻璃半球谐振子的谐响应分析 | 第33-34页 |
| 3.4 微玻璃半球谐振陀螺电极的结构 | 第34-40页 |
| 3.4.1 环形玻璃电极结构 | 第35-38页 |
| 3.4.2 硅电极结构 | 第38-39页 |
| 3.4.3 两种电极结构的比较 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 4. 微玻璃半球谐振陀螺工艺加工及表征 | 第42-62页 |
| 4.1 微玻璃半球谐振子吹塑成型的原理 | 第42-43页 |
| 4.2 基于环形电极的微玻璃半球谐振陀螺工艺加工流程 | 第43-49页 |
| 4.2.1 基于环形电极的微玻璃半球谐振陀螺的版图设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 基于环形电极的微玻璃半球谐振陀螺工艺流程 | 第45-49页 |
| 4.3 基于硅电极的微玻璃半球谐振陀螺工艺加工流程 | 第49-54页 |
| 4.3.1 基于硅电极的微玻璃半球谐振陀螺的版图设计 | 第49-51页 |
| 4.3.2 基于硅电极的微玻璃半球谐振陀螺的工艺流程 | 第51-54页 |
| 4.4 微玻璃半球谐振陀螺的表征 | 第54-61页 |
| 4.4.1 普通光学显微镜的整体形貌观测 | 第55-57页 |
| 4.4.2 扫描电子显微镜的观测 | 第57-60页 |
| 4.4.3 原子力显微镜的观测 | 第60页 |
| 4.4.4 电容测试 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 5. 总结与展望 | 第62-65页 |
| 5.1 工作总结 | 第62-63页 |
| 5.2 论文创新点 | 第63页 |
| 5.3 工作展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
