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GaAs PHEMT器件失效机理及寿命评估研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-14页
   ·课题研究背景第10-11页
   ·国内外研究现状第11-12页
   ·课题来源及研究内容第12-14页
第二章 GaAs PHEMT 器件寿命实验第14-25页
   ·GaAs PHEMT 器件结构第14-15页
   ·GaAs PHEMT 器件寿命实验理论第15-18页
     ·寿命实验概述第15页
     ·GaAs PHEMT 寿命实验方法第15-18页
   ·GaAs PHEMT 器件寿命实验方案第18-24页
     ·实验样品第18-21页
     ·实验系统第21-22页
     ·实验条件第22-24页
   ·本章小结第24-25页
第三章 GaAs PHEMT 器件结温测试第25-34页
   ·热阻第25-26页
     ·热阻与结温第25-26页
     ·热阻测试第26页
   ·单机理金属化结构结温测试第26-29页
   ·GaAs PHEMT 单管结温测试第29-33页
   ·本章小结第33-34页
第四章 GaAs PHEMT 器件失效机理分析第34-52页
   ·GaAs PHEMT 器件的主要失效模式和失效机理第34-38页
     ·GaAs PHEMT 器件的主要失效模式第34-35页
     ·GaAs PHEMT 器件的常见失效机理第35-38页
   ·GaAs PHEMT 单机理金属化结构失效机理分析第38-41页
   ·GaAs PHEMT 单管失效机理分析第41-51页
   ·本章小结第51-52页
第五章 GaAs PHEMT 器件寿命评估第52-62页
   ·GaAs PHEMT 寿命评估理论第52-54页
     ·寿命实验的常用的寿命分布第52-53页
     ·寿命实验的数据处理模型第53-54页
   ·GaAs PHEMT 器件寿命评估第54-61页
     ·GaAs PHEMT 单机理结构寿命评估第56-60页
     ·GaAs PHEMT 单管寿命评估第60-61页
   ·本章小结第61-62页
结论与展望第62-64页
参考文献第64-68页
致谢第68-69页
附件第69页

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