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铜基镶嵌结构界面金刚石膜及其膜/基结合力的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-19页
   ·散热材料的应用现状第11-12页
   ·新型散热材料的选择第12-14页
     ·散热材料所需的性质第12页
     ·金刚石第12-13页
     ·紫铜第13-14页
   ·铜-金刚石复合散热材料的研究现状第14-17页
     ·Cu-金刚石烧结复合材料第14-16页
     ·Cu 基体上沉积金刚石膜第16-17页
   ·制备铜-金刚石复合散热材料存在的问题第17-18页
   ·研究内容第18页
   ·研究意义第18-19页
第二章 实验材料设备及表征第19-27页
   ·实验流程第19-20页
   ·实验所用设备及实验原理第20-23页
     ·直流电镀电源及直流电镀第20-21页
     ·脉冲电镀电源及脉冲电镀原理第21页
     ·热丝化学气象沉积设备第21-23页
   ·实验材料及预处理第23-24页
     ·实验所用材料第23-24页
     ·实验所用材料的预处理第24页
   ·表征方法第24-27页
     ·电子探针显微分析仪第24-25页
     ·X 射线衍射仪第25页
     ·扫描电子显微镜第25页
     ·共聚焦激光拉曼光谱仪第25-26页
     ·洛氏硬度仪第26-27页
第三章 铜-金刚石颗粒复合镀层的研究第27-46页
   ·引言第27页
   ·酸性镀液制备复合电镀层第27-33页
     ·酸性电镀液组分和电镀工艺第27-29页
     ·复合镀层的制备第29页
     ·复合镀层的X 射线衍射分析第29-30页
     ·复合镀层的表面形貌分析第30-33页
     ·酸性镀液制备复合镀层的优缺点第33页
   ·碱性镀液制备复合电镀层第33-40页
     ·碱性电镀液组分和电镀工艺第33-35页
     ·复合镀层的制备第35页
     ·复合镀层的表面形貌分析第35-38页
     ·复合镀层的断面形貌分析第38-40页
     ·碱性镀液制备复合镀层的优缺点第40页
   ·碱性镀液的改进第40-44页
     ·改进后的碱性镀液组分及工艺第40-42页
     ·复合镀层的表面形貌分析第42-43页
     ·制备金刚石粒度为5μm 的复合镀层第43-44页
     ·碱性镀液改进后制备复合镀层的优缺点第44页
   ·本章小结第44-46页
第四章 铜-铬-钼三元合金电镀第46-67页
   ·引言第46-49页
   ·硫酸盐镀液制备铜-铬-钼三元合金电镀层的研究第49-57页
     ·硫酸盐电镀液的组分及配制第49-50页
     ·硫酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的工艺研究第50-51页
     ·硫酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的波谱分析第51-53页
     ·硫酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的能谱及形貌分析第53-55页
     ·硫酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的断面分析第55-57页
     ·硫酸盐镀液制备铜-铬-钼合金镀层的优缺点第57页
   ·氟硼酸盐镀液制备铜-铬-钼三元合金电镀层的研究第57-66页
     ·氟硼酸盐电镀液的组分及配制第57-58页
     ·氟硼酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的工艺研究第58-59页
     ·氟硼酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的波谱分析第59-60页
     ·氟硼酸盐制备铜-铬-钼三元合金镀层的能谱及形貌分析第60-66页
   ·本章小结第66-67页
第五章 热丝化学气相沉积金刚石膜第67-82页
   ·铜加固复合镀层制备金刚石膜及性能研究第67-72页
     ·样品制备第67-68页
     ·铜加固复合镀层制备金刚石膜的表面形貌第68-69页
     ·铜加固复合镀层制备金刚石膜的拉曼(Raman)光谱第69-71页
     ·铜加固复合镀层制备金刚石膜的膜/基结合力第71-72页
   ·Cu-Cr-Mo 合金加固复合镀层制备金刚石膜及性能研究第72-79页
     ·制备样品第72-74页
     ·合金加固复合镀层制备金刚石膜的表面形貌第74-75页
     ·合金加固复合镀层制备金刚石膜的拉曼(Raman)光谱第75-76页
     ·合金加固复合镀层制备金刚石膜的膜/基结合力第76-79页
   ·膜/基结合力的分析第79-81页
   ·本章小结第81-82页
结论第82-84页
参考文献第84-90页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第90-91页
致谢第91-92页
附件第92页

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