| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题研究的意义 | 第10-11页 |
| ·论文相关领域的现状 | 第11-14页 |
| ·微结构磨削加工技术现状 | 第11-13页 |
| ·金刚石砂轮修整技术现状 | 第13-14页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 金刚石砂轮V 形尖端的检测及评价方法 | 第16-30页 |
| ·检测设备 | 第16-17页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端轮廓的检测和剥离 | 第17-25页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端轮廓的检测 | 第17-18页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端轮廓的剥离 | 第18-25页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端的评价 | 第25-29页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端的角度 | 第25-27页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端的圆弧半径 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 金刚石砂轮V 形尖端的数控对磨微细修整 | 第30-42页 |
| ·实验设备 | 第30-32页 |
| ·数控对磨成型修整原理及实验 | 第32-35页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端的数控对磨成型修整原理 | 第32-33页 |
| ·金刚石砂轮V 形尖端的数控对磨成型修整实验 | 第33-34页 |
| ·磨削加工方法及实验 | 第34-35页 |
| ·实验结果及分析 | 第35-41页 |
| ·砂轮尖端轮廓和磨粒出刃形貌 | 第35-37页 |
| ·单晶硅表面的微沟槽加工 | 第37-39页 |
| ·砂轮修整率和材料去除率 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 金属结合剂金刚石砂轮V 形尖端的气中接触放电修整实验研究 | 第42-59页 |
| ·金属结合剂金刚石砂轮的气中接触放电修整基本原理 | 第42-45页 |
| ·电火花砂轮修整的基本原理及特点 | 第42-44页 |
| ·接触放电砂轮修整的基本原理 | 第44-45页 |
| ·金属结合剂金刚石砂轮V 形尖端的气中接触放电修整实验 | 第45-50页 |
| ·金属结合剂金刚石砂轮V 形尖端的气中接触放电修整工艺条件 | 第45-48页 |
| ·金属结合剂金刚石砂轮V 形尖端的气中接触放电修整实验过程 | 第48-50页 |
| ·实验结果及分析 | 第50-57页 |
| ·接触放电金刚石砂轮尖端形貌和轮廓 | 第50-53页 |
| ·接触放电过程的电参数特征 | 第53-54页 |
| ·接触放电放对金刚石砂轮V 形尖端成形角度和尖端圆弧半径的影响 | 第54-56页 |
| ·接触放电放对砂轮V 形尖端修整率及修整效率的影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 V 形沟槽微细结构功能表面加工技术的应用 | 第59-68页 |
| ·硬质合金车刀刀头V 沟槽微结构加工 | 第59-61页 |
| ·光纤对接石英基板的微沟槽加工 | 第61-62页 |
| ·微锥塔阵列空间表面的微细加工 | 第62-66页 |
| ·SiC 陶瓷和WC 硬质合金微锥塔阵列空间表面的微细加工 | 第62-63页 |
| ·单晶硅微锥塔阵列空间表面的微细加工 | 第63-64页 |
| ·光学玻璃微锥塔阵列空间表面的微细加工 | 第64-66页 |
| ·普通玻璃表面微通道的微细加工 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 全文总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
