| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 微机电系统概述——概念、发展、应用 | 第10-11页 |
| 1.2 微机电系统制造技术 | 第11-12页 |
| 1.3 微光机电系统概述 | 第12-13页 |
| 1.4 MEMS微镜概述 | 第13-21页 |
| 1.4.1 MEMS微镜几种常见驱动方式 | 第14-17页 |
| 1.4.2 MEMS微镜的应用领域 | 第17-18页 |
| 1.4.3 MEMS微镜控制的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.5 本文研究意义 | 第21页 |
| 1.6 本文主要工作及各章内容安排 | 第21-22页 |
| 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 电磁驱动微镜系统的建模与分析 | 第23-41页 |
| 2.1 电磁驱动微镜系统介绍 | 第23-30页 |
| 2.1.1 电磁驱动微镜的结构和参数 | 第23-26页 |
| 2.1.2 电磁驱动微镜平台的搭建 | 第26-27页 |
| 2.1.3 微镜系统动静态性能 | 第27-30页 |
| 2.2 电磁驱动微镜系统机理建模 | 第30-37页 |
| 2.2.1 电磁驱动微镜系统机理建模过程 | 第30-35页 |
| 2.2.2 模型参数计算及有效性验证 | 第35-37页 |
| 2.2.3 微镜系统的未建模动态分析 | 第37页 |
| 2.3 电磁驱动微镜系统扫频法建模 | 第37-40页 |
| 2.3.1 系统幅相数据采集 | 第38页 |
| 2.3.2 系统模型建立 | 第38-39页 |
| 2.3.3 扫频法模型有效性验证 | 第39-40页 |
| 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 微镜系统的PID控制实现及其问题分析 | 第41-57页 |
| 3.1 电磁微镜平台的噪声分析与仿真 | 第41-44页 |
| 3.1.1 电磁微镜平台噪声特性的分析 | 第41-43页 |
| 3.1.2 电磁微镜平台噪声的仿真 | 第43-44页 |
| 3.2 PID控制理论基础及控制器设计 | 第44-46页 |
| 3.2.1 PID控制原理 | 第44-45页 |
| 3.2.2 PID控制器设计及参数整定 | 第45-46页 |
| 3.3 电磁驱动微镜系统PID控制器设计与仿真 | 第46-50页 |
| 3.3.1 连续系统PID控制仿真 | 第46-48页 |
| 3.3.2 PID控制器离散化及仿真 | 第48-50页 |
| 3.4 PID控制器在微镜平台的实现 | 第50-56页 |
| 3.4.1 实验平台及LabVIEW介绍 | 第50-52页 |
| 3.4.2 PID控制实现及效果分析 | 第52-56页 |
| 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 电磁驱动微镜系统的H_∞控制 | 第57-83页 |
| 4.1 H_∞控制理论基础及控制器设计方法 | 第57-67页 |
| 4.1.1 H_∞控制理论概述 | 第57-58页 |
| 4.1.2 H_∞控制理论基础 | 第58-61页 |
| 4.1.3 H_∞控制器的设计方法 | 第61-67页 |
| 4.2 微镜系统的H_∞控制器设计及仿真 | 第67-76页 |
| 4.2.1 微镜系统的H_∞控制器设计 | 第67-71页 |
| 4.2.2 微镜系统的离散H_∞控制器设计 | 第71-73页 |
| 4.2.3 离散闭环系统仿真效果 | 第73-76页 |
| 4.3 H_∞控制器在微镜平台的实现及性能分析 | 第76-80页 |
| 4.3.1 H_∞控制在微镜平台的实现 | 第76-77页 |
| 4.3.2 H_∞控制效果分析 | 第77-80页 |
| 4.4 系统相对稳定性和抑制噪声能力分析 | 第80-82页 |
| 本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 电磁驱动微镜H_∞控制的应用 | 第83-89页 |
| 5.1 PID和H_∞控制对三角波、方波信号跟踪性能分析 | 第83-85页 |
| 5.2 条形码扫描器功能的实现 | 第85-87页 |
| 5.3 光开关功能的实现 | 第87-88页 |
| 本章小结 | 第88-89页 |
| 结论 | 第89-90页 |
| 本文总结 | 第89页 |
| 工作展望 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 附件 | 第98页 |