| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第8-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-12页 |
| 1.1.1 刻蚀领域脉冲放电相对于稳态放电的优势 | 第8-9页 |
| 1.1.2 刻蚀领域脉冲放电的典型参数及其演化特征 | 第9-12页 |
| 1.2 研究现状与不足 | 第12-17页 |
| 1.3 本文的主要内容 | 第17-20页 |
| 第2章 实验平台与测量 | 第20-47页 |
| 2.1 脉冲射频容性耦合放电系统介绍 | 第20-23页 |
| 2.2 朗缪尔探针 | 第23-39页 |
| 2.2.1 容性耦合效应对探针测量结果的影响 | 第24-28页 |
| 2.2.2 等效电路模型研究容性耦合效应 | 第28-34页 |
| 2.2.3 强容性耦合下对探针数据的修正方法 | 第34-36页 |
| 2.2.4 等离子体外部电路对探针测量的影响 | 第36-39页 |
| 2.3 激光吸收光谱诊断粒子密度和温度 | 第39-42页 |
| 2.3.1 激光吸收光谱诊断的基本原理 | 第39-40页 |
| 2.3.2 测量时间分辨的激光吸收线型的方法 | 第40-42页 |
| 2.4 微波干涉仪诊断电子密度 | 第42-43页 |
| 2.5 射频电压 -电流探头诊断射频功率 | 第43-44页 |
| 2.6 发射光谱诊断 | 第44-46页 |
| 2.6.1 电子密度 | 第44-45页 |
| 2.6.2 电子温度 | 第45页 |
| 2.6.3 中性粒子密度 | 第45-46页 |
| 2.7 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 惰性气体余辉中电子的损失和冷却 | 第47-84页 |
| 3.1 余辉中的电子冷却模型 | 第48-54页 |
| 3.2 余辉中的等离子体密度演化模型 | 第54-56页 |
| 3.3 模型和实验结果的比较和讨论 | 第56-68页 |
| 3.3.1 电子密度和温度的实验诊断 | 第56-59页 |
| 3.3.2 模型和实验结果的比较 | 第59-62页 |
| 3.3.3 等离子体密度空间分布的演化 | 第62-65页 |
| 3.3.4 一阶扩散模式适用范围的判据 | 第65-67页 |
| 3.3.5 余辉中电子密度和温度演化的耦合关系 | 第67-68页 |
| 3.4 余辉早期电子能量分布的截断现象 | 第68-73页 |
| 3.5 分子气体掺杂的影响 | 第73-82页 |
| 3.6 本章小结 | 第82-84页 |
| 第4章 电负性氧气脉冲放电中的电子密度和温度演化 | 第84-102页 |
| 4.1 时间分辨的实验测量 | 第85-87页 |
| 4.2 脉冲放电的整体模型 | 第87-93页 |
| 4.3 电子能量分布和解吸附速率系数对模型的影响 | 第93-95页 |
| 4.4 诊断电负性和负离子寿命 | 第95-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-102页 |
| 第5章 脉冲功率加载期间电子密度和温度的演化 | 第102-129页 |
| 5.1 惰性气体脉冲放电功率加载期间电子密度的演化 | 第103-119页 |
| 5.1.1 分步电离过程的影响 | 第104-106页 |
| 5.1.2 等离子体功率演化的影响 | 第106-112页 |
| 5.1.3 电子温度演化的影响 | 第112-117页 |
| 5.1.4 分子气体掺杂的影响 | 第117-119页 |
| 5.2 CF4脉冲放电功率加载期间等离子体参数的演化 | 第119-126页 |
| 5.2.1 实验装置简介 | 第119页 |
| 5.2.2 CF4脉冲放电模型分析和实验测量 | 第119-126页 |
| 5.3 本章小结 | 第126-129页 |
| 第6章 结论 | 第129-133页 |
| 6.1 主要的研究结果 | 第129-131页 |
| 6.2 研究的局限性和进一步的工作展望 | 第131-132页 |
| 6.3 本文主要的创新点归纳 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-143页 |
| 致谢 | 第143-145页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第145-146页 |
