| 学位论文的主要创新点 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 生化传感技术概述 | 第8页 |
| 1.2 局域表面等离子体共振传感 | 第8-13页 |
| 1.2.1 表面等离子体共振 | 第8-11页 |
| 1.2.2 局域表面等离子体共振 | 第11-13页 |
| 1.3 金属纳米结构加工工艺—干涉曝光技术 | 第13-14页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 干涉曝光技术制备纳米图形结构 | 第16-34页 |
| 2.1 干涉曝光系统的设计 | 第16-20页 |
| 2.1.1 干涉曝光的基本原理 | 第16-17页 |
| 2.1.2 Lloyd干涉系统平台的搭建 | 第17-20页 |
| 2.2 干涉曝光加工纳米图形结构 | 第20-23页 |
| 2.2.1 衬底的准备 | 第20页 |
| 2.2.2 干涉曝光 | 第20-21页 |
| 2.2.3 抗反射层 | 第21-23页 |
| 2.3 干涉曝光加工图形的结果及讨论 | 第23-31页 |
| 2.3.1 ITO衬底上制备线型光刻胶光栅 | 第23-28页 |
| 2.3.2 ITO衬底上制备交叉型光栅阵列 | 第28-29页 |
| 2.3.3 Si衬底上制备纳米图形结构 | 第29-31页 |
| 2.4 干涉曝光图形的转移 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 金属纳米结构的数值模拟 | 第34-52页 |
| 3.1 有限时域差分法 | 第34-38页 |
| 3.1.1 麦克斯韦方程组 | 第34-35页 |
| 3.1.2 中心差分法 | 第35-36页 |
| 3.1.3 FDTD直角坐标系下的差分形式 | 第36-38页 |
| 3.2 FDTD Solutions软件建模仿真 | 第38-44页 |
| 3.2.1 FDTD Solutions软件的优点 | 第38-39页 |
| 3.2.2 FDTD Solutions软件模拟参数设置 | 第39-43页 |
| 3.2.3 FDTD Solutions金属的介电常数 | 第43-44页 |
| 3.3 FDTD Solutions模拟金纳米结构 | 第44-50页 |
| 3.3.1 不同材料的纳米球的透射光谱 | 第44-45页 |
| 3.3.2 不同形状的金纳米粒子的透射光谱 | 第45页 |
| 3.3.3 不同大小的金点阵的透射光谱 | 第45-47页 |
| 3.3.4 金纳米点阵在不同介质中的仿真分析 | 第47-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 LSPR生化传感芯片的研究 | 第52-60页 |
| 4.1 LSPR生化传感芯片的测试系统 | 第52-53页 |
| 4.2 金纳米结构的传感光谱分析 | 第53-59页 |
| 4.2.1 不同形状的金纳米结构的光谱分析 | 第53-54页 |
| 4.2.2 不同直径的金纳米点阵的光谱分析 | 第54-55页 |
| 4.2.3 不同介质的金纳米点阵的光谱分析 | 第55-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
