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基于直流辉光放电等离子体原理的高频响压力传感器初探

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-9页
1 绪论第18-38页
    1.1 研究背景及意义第18-19页
    1.2 叶轮机械内部流动测量仪器发展历程第19-23页
        1.2.1 动态测量技术发展第19-20页
        1.2.2 半导体硅压阻式传感器技术分析第20-21页
        1.2.3 热力学传感器技术分析第21页
        1.2.4 超高频响测量手段的需求第21-23页
    1.3 大气压气体放电理论的发展历程第23-25页
    1.4 基于等离子体原理的相关技术在叶轮机械领域的应用第25-34页
        1.4.1 介质阻挡放电等离子体在流动控制中的应用第25-27页
        1.4.2 基于等离子体的流场测量技术发展历程第27-34页
    1.5 本文研究思路与科学问题第34-35页
    1.6 本文主要内容和结构安排第35-38页
2 稳态标定实验装置介绍第38-46页
    2.1 引言第38页
    2.2 清华大学气体放电与等离子体实验室实验装置介绍第38-43页
        2.1.1 真空及充气系统第38-39页
        2.1.2 气体放电显微镜观察平台介绍第39-41页
        2.1.3 放电室第41-42页
        2.1.4 电源及电测量系统第42-43页
    2.3 高气压静态标定实验台第43-45页
    2.4 本章小结第45-46页
3 等离子体辉光放电与气动参数的关系第46-60页
    3.1 引言第46页
    3.2 辉光放电的基本概念及定性分析第46-49页
        3.2.1 均匀场中的击穿电压第46-47页
        3.2.2 辉光放电的产生及典型条件第47-48页
        3.2.3 辉光放电的外貌、参数分布及基本特征第48-49页
    3.3 等效电路与等离子体压力传感器特性第49-51页
    3.4 基于等离子体测量气流速度及扰动的原理第51-53页
    3.5 基于等离子体测量气体压力的原理第53-57页
        3.5.1 理论上的假设第54-55页
        3.5.2 阴极位降U_c与气体压力P关系第55-57页
    3.6 本章小结第57-60页
4 直流驱动等离子体压力传感器的静态标定实验第60-90页
    4.1 引言第60-61页
    4.2 大气压下传感器维持电压随间隙变化的对应曲线第61-65页
    4.3 不同电极间隙对气压的灵敏度第65-68页
    4.4 两种典型电极间隙在不同气压下的伏安特性曲线第68-76页
        4.4.1 电极间隙50μm时不同气压下的伏安特性曲线第69-72页
        4.4.2 电极间隙250μm时不同气压下的伏安特性曲线第72-74页
        4.4.3 两种典型电极间隙不同固定电流时在不同气压下的灵敏度分析第74-76页
    4.5 大气压下辉光放电的稳定性第76-78页
        4.5.1 大气压下辉光放电的稳定性第76-77页
        4.5.2 持续放电时不同气压下电压随放电时间的变化第77-78页
    4.6 其他典型电极间隙在不同气压下的伏安特性曲线第78-88页
        4.6.1 不同电极间隙对气压的灵敏度第78-79页
        4.6.2 电极间隙200μm时不同气压下的伏安特性曲线第79-81页
        4.6.3 电极间隙220μm时不同气压下的伏安特性曲线第81-83页
        4.6.4 电极间隙230μm时不同气压下的伏安特性曲线第83-85页
        4.6.5 电极间隙240μm时不同气压下的伏安特性曲线第85-87页
        4.6.6 电极间隙260μm时不同气压下的伏安特性曲线第87-88页
    4.7 本章小结第88-90页
5 激波管动态标定实验第90-118页
    5.1 引言第90-91页
    5.2 自制激波管动态标定实验台介绍第91-93页
        5.2.1 压力基准信号采集第91-92页
        5.2.2 数据采集系统第92-93页
    5.3 等离子体压力传感器设计及介绍第93-94页
    5.4 激波管数值模拟方法及结果第94-98页
        5.4.1 激波管几何模型的建立第94页
        5.4.2 数值模拟研究方法第94-95页
        5.4.3 计算网格第95页
        5.4.4 激波在激波管中的运动第95-98页
    5.5 压阻式传感器信号作为输入,分析等离子体压力传感器的动态特性第98-105页
        5.5.1 激波管中部侧面,伸入内部5mm,无有机玻璃罩第99-101页
        5.5.2 激波管中部侧面壁面附近,无有机玻璃罩第101-102页
        5.5.3 激波管中部侧面,伸入内部5mm,带有机玻璃罩第102-103页
        5.5.4 激波管端面,带有机玻璃罩第103-105页
    5.6 数值模拟信号作为输入,分析等离子体压力传感器的动态特性第105-115页
        5.6.1 激波管中部侧面,伸入内部5mm,无有机玻璃罩第105-107页
        5.6.2 激波管中部侧面壁面附近,无有机玻璃罩第107-109页
        5.6.3 激波管中部侧面,伸入内部5mm,带有机玻璃罩第109-113页
        5.6.4 激波管端面,带有机玻璃罩第113-115页
    5.7 本章小结第115-118页
6 总结、创新点与展望第118-124页
    6.1 全文内容总结第118-120页
    6.2 创新之处第120-121页
    6.3 工作展望第121-124页
主要符号说明第124-126页
参考文献第126-136页
攻读博士学位期间的学术论文、专利申请与获奖情况第136-138页
致谢第138页

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