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In2O3等金属氧化物敏感材料的制备及其气敏性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 文献综述第10-28页
    1.1 引言第10页
    1.2 气敏传感器的概述第10-12页
    1.3 半导体气敏传感器第12-15页
        1.3.1 基于金属氧化物气体传感器的简介第12-13页
        1.3.2 半导体气敏元件第13-14页
        1.3.3 基于金属氧化物半导体传感器的气敏机理第14-15页
    1.4 In_2O_3及其它的半导体金属氧化气敏材料第15-19页
        1.4.1 In_2O_3气敏材料的制备方法第16-19页
    1.5 In_2O_3气敏传感器的改性第19-24页
    1.6 气敏传感器的发展趋势第24-26页
    1.7 本论文主要工作和章节安排第26-28页
        1.7.1 本文主要工作第26页
        1.7.2 本论文的章节安排第26-28页
第2章 花状In_2O_3微米棒材料的水热合成及其气敏性能研究第28-46页
    引言第28-29页
    2.1 实验材料和实验仪器第29-30页
        2.1.1 实验材料第29-30页
        2.1.2 实验仪器第30页
    2.2 样品的表征及测试第30-32页
    2.3 花状In_2O_3微米棒的制备第32页
    2.4 材料的表征与分析第32-36页
        2.4.1 材料的热重和拉曼表征分析第32-33页
        2.4.2 材料的SEM表征第33-34页
        2.4.3 材料的XRD和TEM表征第34-35页
        2.4.4 材料的比表面积和孔径分布第35-36页
    2.5 形成机理的探讨第36-37页
    2.6 材料的气敏性能测试第37-44页
        2.6.1 气敏传感器性能指标第37-39页
        2.6.2 气敏元件的制备第39页
        2.6.3 材料的气敏性能检测第39-44页
    2.7 本章小结第44-46页
第3章 铜掺杂花状In_2O_3微米棒材料的制备及其气敏性能研究第46-56页
    引言第46-47页
    3.1 铜掺杂花状In_2O_3微米棒材料的制备第47-50页
        3.1.1 材料的制备第47页
        3.1.2 材料的表征与结果讨论第47-50页
    3.2 材料的气敏性能测试第50-55页
    3.3 本章小结第55-56页
第4章 空心SnO_2–ZnO微米纤维的制备及其气敏性能研究第56-66页
    引言第56-57页
    4.1 材料的制备第57-58页
    4.2 材料的表征第58-60页
    4.3 材料的形成机理第60-61页
    4.4 材料的气敏测试第61-64页
    4.5 材料气敏结果的讨论第64页
    4.6 本章小结第64-66页
第5章 全文总结第66-68页
参考文献第68-78页
攻读硕士期间已发表的论文第78-80页
致谢第80页

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