光刻机六自由度工件台控制系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| ·光刻机发展历史及现状 | 第10-11页 |
| ·光刻机工件台技术简介 | 第11-16页 |
| ·光刻机工作原理 | 第11-12页 |
| ·工件台发展历史 | 第12-15页 |
| ·工件台技术国内外现状 | 第15-16页 |
| ·耦合作用对工件台的影响 | 第16页 |
| ·本文研究主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 解耦算法基础 | 第17-28页 |
| ·耦合基本概念介绍 | 第17-19页 |
| ·耦合程度分析 | 第19-21页 |
| ·直接法 | 第20页 |
| ·相对增益矩阵 | 第20-21页 |
| ·对角优势矩阵 | 第21页 |
| ·解耦方法研究 | 第21-27页 |
| ·古典控制理论解耦方法 | 第21-23页 |
| ·现代控制理论解耦方法 | 第23-24页 |
| ·智能控制理论解耦方法 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 光刻机工件台的建模分析 | 第28-42页 |
| ·工件台系统的结构及功能 | 第28-29页 |
| ·工件台的控制系统结构 | 第29-30页 |
| ·工件台位移姿态关系 | 第30-38页 |
| ·X , Y , θ_ z 平面位移关系分析 | 第30-31页 |
| ·Z , θ_x , θ_ y 平面位移关系分析 | 第31-38页 |
| ·工件台电机模型 | 第38-40页 |
| ·工件台控制模型建立 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 工件台解耦设计及仿真 | 第42-66页 |
| ·耦合程度的判断 | 第42-44页 |
| ·解耦控制系统设计 | 第44-50页 |
| ·X , Y ,θ_ z 平面解耦 | 第44-47页 |
| ·Z , θ_x , θ_ y 平面解耦 | 第47-50页 |
| ·单回路闭环控制器设计 | 第50-60页 |
| ·Y轴控制器设计 | 第50-57页 |
| ·闭环回路中机械谐振的影响和消除 | 第57-60页 |
| ·其他自由度仿真结果 | 第60-62页 |
| ·解耦效果仿真验证 | 第62-65页 |
| ·X , Y ,θ z 平面验证 | 第63-64页 |
| ·Z , θ_x , θ_ y 平面验证 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 工件台轨迹规划 | 第66-73页 |
| ·步进扫描工作原理 | 第66页 |
| ·扫描轨迹分析 | 第66-67页 |
| ·扫描轨迹规划及算法设计 | 第67-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
